[实用新型]一种半导体测试用高适用性的探针卡盘

权利要求书

1.一种半导体测试用高适用性的探针卡盘，其特征在于：包括卡盘(1)、方槽(2)、圆槽(3)、嵌槽(4)和夹紧装置，所述卡盘(1)正中间设置有圆槽(3)，且卡盘(1)上设置有方槽(2)，所述圆槽(3)和方槽(2)相重合，所述圆槽(3)的两侧壁上均匀设置有嵌槽(4)，所述嵌槽(4)内部设置有夹紧装置，且夹紧装置与卡盘(1)固定连接。

2.根据权利要求1所述的半导体测试用高适用性的探针卡盘，其特征在于：所述夹紧装置包括弹簧(5)和夹块(6)，所述夹块(6)的背面均匀设置有弹簧(5)，且弹簧(5)的一端与夹块(6)固定连接，弹簧(5)的另一端与卡盘(1)固定连接。

3.根据权利要求2所述的半导体测试用高适用性的探针卡盘，其特征在于：所述夹块(6)的外端面设置有橡胶垫。

4.根据权利要求1所述的半导体测试用高适用性的探针卡盘，其特征在于：所述嵌槽(4)的高度小于圆槽(3)的高度。

5.根据权利要求1所述的半导体测试用高适用性的探针卡盘，其特征在于：所述圆槽(3)的中心位置与方槽(2)的中心位置相重合。

6.根据权利要求2所述的半导体测试用高适用性的探针卡盘，其特征在于：所述夹块(6)的中间位置设置有弧形凹槽。