[实用新型]一种直拉单晶用碳碳埚托及单晶炉

权利要求书

1.一种直拉单晶用碳碳埚托，其特征在于，包括埚托主体，所述埚托主体包括承托面(1)、支撑底面(2)与锥形侧面(3)，所述承托面(1)位于所述埚托主体的内表面，所述承托面(1)为弧形面，用于承载坩埚；所述支撑底面(2)位于所述埚托主体的底部，并且所述支撑底面(2)水平设置；所述锥形侧面(3)由所述支撑底面(2)的边缘延伸而成，并且所述锥形侧面(3)与所述支撑底面(2)之间形成的锐角为15～18°。

2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶用碳碳埚托，其特征在于，所述支撑底面(2)包括第一底面(21)和第二底面(22)，所述第二底面(22)位于所述第一底面(21)的外周，并且所述第二底面(22)的水平高度高于所述第一底面(21)的水平高度。

3.根据权利要求1所述的一种直拉单晶用碳碳埚托，其特征在于，所述直拉单晶用碳碳埚托的环形边缘处设置固定部(4)，所述固定部(4)用于与所述坩埚固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种直拉单晶用碳碳埚托，其特征在于，所述固定部(4)的上表面水平设置，并且所述固定部(4)的上表面与所述埚托主体的边缘呈钝角设置；所述固定部(4)的底部设置卡槽(41)，所述卡槽(41)用于与所述坩埚嵌套固定。

5.根据权利要求1所述的一种直拉单晶用碳碳埚托，其特征在于，所述承托面(1)上设置至少一个限位部，所述限位部用于与所述坩埚的底部相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种直拉单晶用碳碳埚托，其特征在于，所述直拉单晶用碳碳埚托的密度为1.35～1.5g/cm³。

7.根据权利要求1所述的一种直拉单晶用碳碳埚托，其特征在于，所述直拉单晶用碳碳埚托为一体结构。

8.根据权利要求1所述的一种直拉单晶用碳碳埚托，其特征在于，所述直拉单晶用碳碳埚托的外径为500～900mm。

9.根据权利要求8所述的一种直拉单晶用碳碳埚托，其特征在于，所述直拉单晶用碳碳埚托的高度为55～70mm。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的直拉单晶用碳碳埚托。