[实用新型]一种直拉单晶用碳碳埚托及单晶炉

说明书

本实用新型公开了一种直拉单晶用碳碳埚托及单晶炉，包括埚托主体，所述埚托主体包括承托面、支撑底面与锥形侧面，所述承托面位于所述埚托主体的内表面，所述承托面为弧形面，用于承载坩埚；所述支撑底面位于所述埚托主体的底部，并且所述支撑底面水平设置；所述锥形侧面由所述支撑底面的边缘延伸而成，并且所述锥形侧面与所述支撑底面之间形成的锐角为15～18°。本实用新型采用呈15～18°设置的锥形侧面，使得埚托主体能够对坩埚起到良好的支承作用，埚托主体具有优异的力学性能，使用寿命长；同时，减少埚托主体的耗材以及相应的生产成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶制备技术领域，尤其涉及一种直拉单晶用碳碳埚托及单晶炉。

背景技术

随着光伏行业的快速发展，直拉硅单晶已实现产业化发展，国内的硅单晶拉制炉一般使用石墨热场和碳碳复合材料热场；在单晶硅制备过程中，埚托作为承载坩埚的受力件，必须具备高密度、高强度、抗腐蚀性能强等特点，并且，作为单晶硅制备热场中的主要损耗材料，埚托使用寿命的长短将会直接影响单炉次的运行成本和设备的安全；而石墨埚托存在脆性大，强度低，受热容易开裂、耐腐蚀性能低，使用寿命短等问题，而且，包括石墨埚托在内的现有埚托作为承托坩埚的承力部件，大多使用寿命都比较短，埚托的损耗量大，不利于企业降低成本。

因此，需要一种直拉单晶用碳碳埚托及单晶炉，能够实现优异的力学性能，支撑强度好，使用寿命长；同时，减少耗材以及相应的生产成本。

实用新型内容

针对上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种直拉单晶用碳碳埚托及单晶炉，能够实现优异的力学性能，支撑强度好，使用寿命长；同时，减少耗材以及相应的生产成本。

本实用新型提供的一种直拉单晶用碳碳埚托，包括埚托主体，所述埚托主体包括承托面、支撑底面与锥形侧面，所述承托面位于所述埚托主体的内表面，所述承托面为弧形面，用于承载坩埚；所述支撑底面位于所述埚托主体的底部，并且所述支撑底面水平设置；所述锥形侧面由所述支撑底面的边缘延伸而成，并且所述锥形侧面与所述支撑底面之间形成的锐角为15～18°。

进一步地，所述支撑底面包括第一底面和第二底面，所述第二底面位于所述第一底面的外周，并且所述第二底面的水平高度高于所述第一底面的水平高度。

进一步地，所述直拉单晶用碳碳埚托的环形边缘处设置固定部，所述固定部用于与所述坩埚固定连接。

进一步地，所述固定部的上表面水平设置，并且所述固定部的上表面与所述埚托主体的边缘呈钝角设置；所述固定部的底部设置卡槽，所述卡槽用于与所述坩埚嵌套固定。

进一步地，所述承托面上设置至少一个限位部，所述限位部用于与所述坩埚的底部相匹配。

进一步地，所述直拉单晶用碳碳埚托的密度为1.35～1.5g/cm³。

进一步地，所述直拉单晶用碳碳埚托为一体结构。

进一步地，所述直拉单晶用碳碳埚托的外径为500～900mm。

进一步地，所述直拉单晶用碳碳埚托的高度为55～70mm。

本实用新型还提供一种单晶炉，包括以上所述的直拉单晶用碳碳埚托。

实施本实用新型，具有如下有益效果：

1、将锥形侧面与水平面呈15～18°设置，能够保证埚托主体具有足够的壁厚，使得埚托主体对坩埚起到良好的支承作用，保证埚托主体具有优异的力学性能，支撑强度好，使用寿命长；同时，该角度又能够避免埚托主体加工时用料过多导致的成本上涨，而高支撑强度也能够减少埚托主体在使用过程中的损耗，有利于降低直拉单晶过程的生产成本。