[实用新型]一种用于放置薄硅片的花篮有效
申请号: | 202123416578.X | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN216563046U | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 冯震坤;王伟 | 申请(专利权)人: | 无锡京运通科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人: | 姬颖敏 |
地址: | 214183 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 放置 硅片 花篮 | ||
1.一种用于放置薄硅片的花篮,包括安装架(2),其特征在于,所述安装架(2)的一侧内壁固定连接有多个导向杆(5),导向杆(5)的圆周外侧活动连接有两个推动板(12),推动板(12)的一侧固定连接有多个弹簧(4),且弹簧(4)与安装架(2)相固定,所述安装架(2)的底部内壁固定连接有固定板(8),且固定板(8)与导向杆(5)相固定,所述固定板(8)位于两个推动板(12)之间,所述固定板(8)与推动板(12)之间均匀分布多个滑板(11),且滑板(11)与导向杆(5)滑动连接,所述安装架(2)的两侧内壁均固定连接有固定座(10),固定座(10)的一侧开设有滑槽(16),两个滑槽(16)之间活动连接有移动板(6),移动板(6)的一侧开设有多个卡槽(14),且卡槽(14)与滑板(11)接触,所述移动板(6)的一侧固定连接有两个拉簧(17),且拉簧(17)与安装架(2)相固定。
2.根据权利要求1所述的一种用于放置薄硅片的花篮,其特征在于,所述安装架(2)的一侧固定连接有拉把(7),拉把(7)的一侧固定连接有橡胶套(9)。
3.根据权利要求1所述的一种用于放置薄硅片的花篮,其特征在于,所述移动板(6)的一侧开设有多个斜面(15)。
4.根据权利要求1所述的一种用于放置薄硅片的花篮,其特征在于,多个所述滑板(11)的两侧均固定连接有缓冲垫(18),所述滑板(11)的一侧固定连接有辅助板(19)。
5.根据权利要求2所述的一种用于放置薄硅片的花篮,其特征在于,所述安装架(2)的底部开设有多个漏水孔(13),且漏水孔(13)均匀分布。
6.根据权利要求5所述的一种用于放置薄硅片的花篮,其特征在于,所述安装架(2)的底部外壁固定连接有多个减震垫(3),减震垫(3)对称分布。
7.根据权利要求6所述的一种用于放置薄硅片的花篮,其特征在于,所述安装架(2)的两侧外壁均固定连接有多个固定柱(1),且固定柱(1)均匀分布。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造