[实用新型]一种用于放置薄硅片的花篮

说明书

本实用新型公开了一种用于放置薄硅片的花篮，包括安装架，所述安装架的一侧内壁固定连接有多个导向杆，导向杆的圆周外侧活动连接有两个推动板，推动板的一侧固定连接有多个弹簧，且弹簧与安装架相固定，所述安装架的底部内壁固定连接有固定板，且固定板与导向杆相固定，所述固定板位于两个推动板之间，所述固定板与推动板之间均匀分布多个滑板，且滑板与导向杆滑动连接。本实用新型不仅能够通过移动板与推动板的配合使用，使硅片得到夹持，提高了装置的夹持效果，而且能够通过缓冲垫对硅片进行保护，提高了装置的防护效果，还能够通过固定柱方便工作人员通过机器设备移动安装架，提高了装置的便捷性。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种用于放置薄硅片的花篮。

背景技术

硅片一般是指由单晶硅切割成的薄片，主要用来生产集成电路，硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体的发展。

硅片加工时便需要用到硅片花篮，硅片花篮在使用时通常把加工后的硅片放置在硅片花篮内的卡槽中，因硅片较薄，导致硅片在卡槽中容易产生晃动，进而对硅片造成一定的损伤，因此，提出一种用于放置薄硅片的花篮显得非常必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于放置薄硅片的花篮。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于放置薄硅片的花篮，包括安装架，所述安装架的一侧内壁固定连接有多个导向杆，导向杆的圆周外侧活动连接有两个推动板，推动板的一侧固定连接有多个弹簧，且弹簧与安装架相固定，所述安装架的底部内壁固定连接有固定板，且固定板与导向杆相固定，所述固定板位于两个推动板之间，所述固定板与推动板之间均匀分布多个滑板，且滑板与导向杆滑动连接，所述安装架的两侧内壁均固定连接有固定座，固定座的一侧开设有滑槽，两个滑槽之间活动连接有移动板，移动板的一侧开设有多个卡槽，且卡槽与滑板接触，所述移动板的一侧固定连接有两个拉簧，且拉簧与安装架相固定。

作为本实用新型再进一步的方案，所述安装架的一侧固定连接有拉把，拉把的一侧固定连接有橡胶套。

作为本实用新型再进一步的方案，所述移动板的一侧开设有多个斜面。

作为本实用新型再进一步的方案，多个所述滑板的两侧均固定连接有缓冲垫，所述滑板的一侧固定连接有辅助板。

作为本实用新型再进一步的方案，所述安装架的底部开设有多个漏水孔，且漏水孔均匀分布。

作为本实用新型再进一步的方案，所述安装架的底部外壁固定连接有多个减震垫，减震垫对称分布。

作为本实用新型再进一步的方案，所述安装架的两侧外壁均固定连接有多个固定柱，且固定柱均匀分布。

本实用新型的有益效果为：

1.通过移动板与推动板的配合使用，当需要对硅片进行放置时，首先把硅片均匀放置在两个滑板之间，然后拉动拉把，拉把向外移动带动移动板沿着滑槽向外移动，从而使卡槽与滑板脱离卡合，移动板向外移动使拉簧受力伸长并产生拉力，然后弹簧回弹复位使两个推动板带动多个滑板沿着导向杆向里移动，从而使滑板对硅片进行夹持，进而避免硅片在卡槽中容易产生晃动，进而对硅片造成一定的损伤的情况，提高了装置的夹持效果。

2.通过在滑板上安装缓冲垫的设置，缓冲垫能够依靠其本身材质的特性对硅片进行保护，避免硅片直接与滑板接触而造成损伤，提高了装置的防护效果。

3.通过在安装架上安装固定柱的设置，固定柱能够方便工作人员通过机器设备移动安装架，且增加安装架的稳定性，避免安装架在移动的过程中出现滑落的情况，提高了装置的便捷性。