[实用新型]一种MEMS微镜扫描角度测试装置

权利要求书

1.一种MEMS微镜扫描角度测试装置，其特征在于，包括红光激光器(1)，在红光激光器(1)发出的光束路径上依次设置有孔径光阑(2)、MEMS微镜(4)和用于成像的屏幕；所述MEMS微镜(4)能够在外源激励信号驱动下偏转；所述用于成像的屏幕能够接收由MEMS微镜(4)反射的光束并在屏幕表面形成光斑，且用于成像的屏幕与MEMS微镜(4)静态时发出的光束垂直。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，其特征在于，所述用于成像的屏幕为带孔成像屏幕(6)，带孔成像屏幕(6)的中间开有小孔用于导通光束；所述红光激光器(1)、孔径光阑(2)、带孔成像屏幕(6)和MEMS微镜(4)依次同轴布设。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，其特征在于，所述用于成像的屏幕为成像屏幕(5)，在孔径光阑(2)与MEMS微镜(4)之间的光束路径上还设有反射镜(3)，孔径光阑(2)与MEMS微镜(4)通过该反射镜(3)连通光路。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，其特征在于，通过调节反射镜(3)的位置能够将光束对准MEMS微镜(4)的反射镜面中心。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，其特征在于，红光激光器(1)发出的光束为可见光。

6.根据权利要求1～4中任意一项所述的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，其特征在于，红光激光器(1)采用功率在10mW以内、波长为650nm或635nm的红光激光器。

7.根据权利要求1～4中任意一项所述的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，其特征在于，所述用于成像的屏幕为网格型坐标纸。

8.根据权利要求1～4中任意一项所述的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，其特征在于，所述孔径光阑(2)的孔径远小于MEMS微镜(4)的反射镜面尺寸，在用于成像的屏幕上形成的光斑直径远小于MEMS微镜(4)的反射镜面直径。

9.根据权利要求1～4中任意一项所述的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，其特征在于，MEMS微镜(4)采用一维MEMS微镜或二维MEMS微镜。