[实用新型]一种MEMS微镜扫描角度测试装置

说明书

本实用新型公开的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，包括红光激光器、孔径光阑、MEMS微镜和用于成像的屏幕；红光激光器产生的光束依次经过孔径光阑小孔、MEMS微镜后显示于用于成像的屏幕上，用于成像的屏幕选用网格型坐标纸，成本低，且方便数据读取；通过外加激励信号来驱动MEMS微镜进行反射扫描运动，经反射扫描的光束在成像屏幕上形成光斑轨迹，再改变外加激励信号，并记录其对应的响应数据。本实用新型能测试出在不同驱动信号激励下MEMS微镜的扫描角度，解决现有的技术中，MEMS微镜的测试装置较为繁琐，成像光斑直径过大，测量角度的准确性较低的问题。

技术领域

本实用新型属于MEMS微镜技术领域，具体涉及一种MEMS微镜扫描角度测试装置。

背景技术

MEMS微镜是一种应用MEMS技术研制的光反射型器件。在硅基微机械的作用下能够带动微镜镜面偏转，将激光束扫描并偏转反射。具有体积小、集成化、功耗低和可批量制造等优点，在光通信、激光投影、激光雷达和三维成像等领域具有广阔的应用前景。MEMS微镜的扫描角度是其重要的性能参数，扫描角度和驱动激励信号的对应关系对微镜的实际应用有着重要的参考作用。现有的技术中,MEMS微镜的测试装置较为繁琐，成像光斑直径过大，测量角度的准确性较低。

实用新型内容

为了克服上述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种MEMS微镜扫描角度测试装置，以解决现有的技术中,MEMS微镜的测试装置较为繁琐，成像光斑直径过大，测量角度的准确性较低的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案予以实现：

一种MEMS微镜扫描角度测试装置，包括红光激光器，在红光激光器发出的光束路径上依次设置有孔径光阑、MEMS微镜和用于成像的屏幕；所述MEMS微镜能够在外源激励信号驱动下偏转；所述用于成像的屏幕接收由MEMS微镜反射的光束并在屏幕表面形成光斑，且用于成像的屏幕与MEMS微镜静态时发出的光束垂直。

进一步地，用于成像的屏幕为带孔成像屏幕，带孔成像屏幕的中间开有小孔用于导通光束；所述红光激光器、孔径光阑、带孔成像屏幕和MEMS微镜依次同轴布设。

进一步地，用于成像的屏幕为成像屏幕，在孔径光阑与MEMS微镜之间的光束路径上还设有反射镜，孔径光阑与MEMS微镜通过该反射镜连通光路；进一步地，通过调节反射镜的位置能够将光束对准MEMS微镜的反射镜面中心。

进一步地，红光激光器发出的光束为可见光。

进一步地，红光激光器采用功率在10mW以内、波长为650nm或635nm的红光激光器。

进一步地，用于成像的屏幕为网格型坐标纸。

进一步地，孔径光阑的孔径远小于MEMS微镜的反射镜面尺寸，在用于成像的屏幕上形成的光斑直径远小于MEMS微镜的反射镜面直径。

进一步地，MEMS微镜采用一维MEMS微镜或二维MEMS微镜。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型公开的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，包括红光激光器，在红光激光器发出的光束路径上依次设置有孔径光阑、MEMS微镜和用于成像的屏幕，装置简单；孔径光阑的使用可以遮挡多余杂光，从而在用于成像的屏幕上形成直径较小的光斑，测量角度的准确性更高；所述MEMS微镜由外加激励信号驱动其偏转，通过改变外加激励信号控制MEMS微镜所对应的扫描角度，在用于成像的屏幕上形成运动轨迹光斑，从而得到扫描角度和驱动激励信号的对应关系，用于成像的屏幕与MEMS微镜静态时发出的光束垂直，大大简化了计算过程，计算原理简单，测量角度的准确性高。

进一步地，用于成像的屏幕为带孔成像屏幕带孔成像屏幕的中间开有小孔用于导通光束使得整个装置更加紧凑，检测效率高，红光激光器、孔径光阑、带孔成像屏幕和MEMS微镜依次同轴设置，检测方便、快捷。