[实用新型]一种适用于离子注入机液态气源柜

权利要求书

1.一种适用于离子注入机液态气源柜，包括底箱(1)和液态气源柜本体(2)，其特征在于，所述液态气源柜本体(2)固定安装在底箱(1)的顶部，所述液态气源柜本体(2)的顶部设置有输送管(3)，所述输送管(3)上固定安装有固定盒(6)，所述液态气源柜本体(2)的上方设置有注入罐(4)，所述注入罐(4)的出口与输送管(3)的顶端活动抵接，所述注入罐(4)的底部固定安装有两个销杆(5)，两个销杆(5)均与固定盒(6)可拆卸连接，所述底箱(1)的两侧内壁上均开设有滑槽(11)，两个滑槽(11)内滑动安装有同一个升降板(12)，所述底箱(1)的底部内壁上竖直滑动安装有多个支板(13)，多个支板(13)的顶侧均与升降板(12)固定连接，位于同一侧的多个支板(13)的底侧固定安装有同一个支撑板(14)，所述升降板(12)上竖直滑动安装有多个支杆(15)，所述底箱(1)的底部开设有多个矩形口，多个支杆(15)的底端贯通对应的矩形口并固定安装有移动轮，所述底箱(1)的底部内壁上固定安装有液压杆(22)，且液压杆(22)的顶端与升降板(12)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种适用于离子注入机液态气源柜，其特征在于：所述固定盒(6)的内壁上转动安装有两个转动销(7)，两个转动销(7)上均固定安装有L形卡板(8)，两个销杆(5)上均开设有卡槽，两个L形卡板(8)分别活动卡接在对应的卡槽内，两个L形卡板(8)相互远离的一侧均固定安装有顶推弹簧，两个顶推弹簧远离L形卡板(8)的一端均与固定盒(6)的内侧壁固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种适用于离子注入机液态气源柜，其特征在于：所述底箱(1)的前后两侧内壁上转动安装有两个转轴(17)，两个转轴(17)的外侧均固定套设有齿轮(19)和链轮(18)，两个支杆(15)上均固定安装有齿条(16)，两个齿条(16)分别与对应的齿轮(19)相啮合，链轮(18)上固定并啮合有链条(20)的一端，链条(20)远离链轮(18)的一端与升降板(12)的底侧固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种适用于离子注入机液态气源柜，其特征在于：所述链轮(18)的前侧固定安装有扭簧，扭簧远离链轮(18)的一端与底箱(1)的前侧内壁固定连接，且扭簧活动套设在转轴(17)的外侧。

5.根据权利要求1所述的一种适用于离子注入机液态气源柜，其特征在于：所述底箱(1)的顶部内壁上和底部内壁上竖直固定安装有多个导向柱(21)，多个导向柱(21)的外侧均滑动安装有滑套，多个滑套均与升降板(12)固定连接。

6.根据权利要求2所述的一种适用于离子注入机液态气源柜，其特征在于：所述固定盒(6)上水平滑动安装两个按压杆(9)，两个按压杆(9)相互远离的一端均固定安装有按压板，两个按压杆(9)相互靠近的一端分别与对应的L形卡板(8)活动抵接，按压杆(9)上固定安装有限位板(10)，且限位板(10)与固定盒(6)的内侧壁相接触。