[实用新型]应用于化学气相沉积设置的晶圆承载球拆卸装置有效
| 申请号： | 202123428869.0 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN216707363U | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 陈亮;王明山;李得平 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/02 | 分类号： | B25B27/02;C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海老虎专利代理事务所(普通合伙) 31434 | 代理人： | 葛瑛 |
| 地址： | 315100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应用于 化学 沉积 设置 承载 拆卸 装置 | ||
【权利要求书】：
1.应用于化学气相沉积设置的晶圆承载球拆卸装置，其特征在于：包括：直筒(1)，所述直筒(1)的内部设置有固定块(3)且固定块(3)的内部设置有推拉杆(2)，所述推拉杆(2)与固定块(3)之间滑动连接，所述推拉杆(2)的插入端设置有活塞(7)且活塞(7)与直筒(1)之间相互嵌合，所述直筒(1)的内部设置有固定架(5)且固定架(5)呈环状结构设置，所述固定架(5)的侧面设置有弹簧柱(6)，所述推拉杆(2)的表面设置有限位板(4)且限位板(4)与弹簧柱(6)之间相互接触，所述直筒(1)的右侧设置有进料口(9)且进料口(9)与球体之间相互嵌合。
2.根据权利要求1所述的应用于化学气相沉积设置的晶圆承载球拆卸装置，其特征在于：所述进料口(9)的内部设置有渐缩块(10)且进料口(9)的内径通过渐缩块(10)由外向内逐渐缩小。
3.根据权利要求1所述的应用于化学气相沉积设置的晶圆承载球拆卸装置，其特征在于：所述活塞(7)的表面设置有密封圈(8)且密封圈(8)设置有若干组并呈等间距分布。
4.根据权利要求2所述的应用于化学气相沉积设置的晶圆承载球拆卸装置，其特征在于：所述渐缩块(10)的内表面设置有若干组环箍(11)且环箍(11)呈环状结构设置并采用弹性材质制成。
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