[实用新型]一种用于真空环境下的光学平台减震装置有效
申请号: | 202123432243.7 | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN217111408U | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 潘海波 | 申请(专利权)人: | 热测测试技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00;F16F15/023 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 王华 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空 环境 光学 平台 减震 装置 | ||
1.一种用于真空环境下的光学平台减震装置,其特征在于:包括光学平台和空气弹簧减震机构,所述光学平台设置在真空箱体内部,所述空气弹簧减震机构设置在所述真空箱体的外部;所述光学平台的底部设置有固定支架,所述真空箱体的底部开设有通孔,所述固定支架的底部穿过所述通孔与所述空气弹簧减震机构连接,所述真空箱体开设的通孔部位设置有第一真空法兰,所述空气弹簧减震机构上设置有第二真空法兰,所述第一真空法兰与所述第二真空法兰之间通过真空波纹管连接,同时所述固定支架底部穿出所述真空箱体外的部位设置在所述真空波纹管内部。
2.根据权利要求1所述的一种用于真空环境下的光学平台减震装置,其特征在于:所述空气弹簧减震机构包括空气弹簧、上钢板以及下钢板,所述上钢板垫设在所述固定支架的底部,同时所述第二真空法兰设置在所述上钢板上,所述空气弹簧设置在所述上钢板与所述下钢板之间,所述下钢板垫设在所述空气弹簧的底部。
3.根据权利要求1所述的一种用于真空环境下的光学平台减震装置,其特征在于:所述光学平台与所述固定支架之间设置设置有减震垫,所述减震垫通过螺栓固定设置在所述光学平台的底部。
4.根据权利要求2所述的一种用于真空环境下的光学平台减震装置,其特征在于:所述固定支架底部垫设有光学固定板,所述光学固定板位于所述上钢板的顶部。
5.根据权利要求2所述的一种用于真空环境下的光学平台减震装置,其特征在于:所述下钢板的底部固定设置有脚垫。
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