[实用新型]一种用于真空环境下的光学平台减震装置

说明书

一种用于真空环境下的光学平台减震装置，包括光学平台和空气弹簧减震机构，光学平台设置在真空箱体内部，空气弹簧减震机构设置在真空箱体的外部；光学平台的底部设置有固定支架，真空箱体的底部开设有通孔，固定支架的底部穿过通孔与空气弹簧减震机构连接，真空箱体开设的通孔部位设置有第一真空法兰，空气弹簧减震机构上设置有第二真空法兰，第一真空法兰与第二真空法兰之间通过真空波纹管连接，本方案设计的一种用于真空环境下的光学平台减震装置，采用真空法兰加波纹管的连接方式，使光学平台处于真空环境下，而空气弹簧减震机构处于非真空环境下，解决了空气弹簧减震器不能直接使用于真空环境仓内的技术难点。

技术领域

本实用新型属于光学平台减震装置技术领域，具体涉及一种用于真空环境下的光学平台减震装置。

背景技术

在真空环境下光学平台的减震是一个长期的问题，由于真空环境下光学平台对减震的要求比较高，采用刚性连接振动的传递几乎没有办法隔离，采用弹性橡胶减震器不仅隔振效率差，也很难固定，采用钢弹簧减震，钢弹簧的固有频率比较高，一般在5Hz左右，相对于10HZ或者更低的干扰频率隔振效果不好；钢弹簧隔振对这些的要求非常高，在重心发生偏离的情况下，台面的水平就不能保证，这就对在光学平台上进行的测试带来很大的误差；而空气弹簧的固有频率在2Hz左右，相当于10HZ的干扰频率隔振效率在95%以上，但是在真空环境下，空气弹簧无法正常使用。

因此，有必要设计一种用于真空环境下的光学平台减震装置，通过采用真空法兰加波纹管的连接方式，解决空气弹簧减震器不能直接使用于真空环境仓内的技术难点，从而有效地解决上述技术问题。

发明内容

为克服上述现有技术中的不足，本实用新型目的在于提供一种用于真空环境下的光学平台减震装置。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供的技术方案是：一种用于真空环境下的光学平台减震装置，包括光学平台和空气弹簧减震机构，所述光学平台设置在真空箱体内部，所述空气弹簧减震机构设置在所述真空箱体的外部；所述光学平台的底部设置有固定支架，所述真空箱体的底部开设有通孔，所述固定支架的底部穿过所述通孔与所述空气弹簧减震机构连接，所述真空箱体开设的通孔部位设置有第一真空法兰，所述空气弹簧减震机构上设置有第二真空法兰，所述第一真空法兰与所述第二真空法兰之间通过真空波纹管连接，同时所述固定支架底部穿出所述真空箱体外的部位设置在所述真空波纹管内部。

优选的，所述空气弹簧减震机构包括空气弹簧、上钢板以及下钢板，所述上钢板垫设在所述固定支架的底部，同时所述第二真空法兰设置在所述上钢板上，所述空气弹簧设置在所述上钢板与所述下钢板之间，所述下钢板垫设在所述空气弹簧的底部。

优选的，所述光学平台与所述固定支架之间设置设置有减震垫，所述减震垫通过螺栓固定设置在所述光学平台的底部。

优选的，所述固定支架底部垫设有光学固定板，所述光学固定板位于所述上钢板的顶部。

优选的，所述下钢板的底部固定设置有脚垫。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点如下：

本方案设计的一种用于真空环境下的光学平台减震装置，采用真空法兰加波纹管的连接方式，使光学平台处于真空环境下，而空气弹簧减震机构处于非真空环境下，解决了空气弹簧减震器不能直接使用于真空环境仓内的技术难点；同时采用空弹簧作为减震装置，提高光学平台减震效果，解决光学平台自水平的问题，客服重心变化对水平度的影响。

附图说明

图1为装置整体结构示意图。

以上附图中，光学平台1、固定支架2、真空箱体3、空气弹簧4、第一真空法兰5、第二真空法兰6、真空波纹管7、减震垫8、上钢板9、下钢板10、光学固定板11、脚垫12。

具体实施方式