[实用新型]一种晶片的烘烤装置有效

专利信息
申请号: 202123439273.0 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN216448564U 公开(公告)日: 2022-05-06
发明(设计)人: 欧阳华;欧阳晟;曹锋;陈炀;方宏森 申请(专利权)人: 广州晶优电子科技有限公司
主分类号: F26B15/18 分类号: F26B15/18;F26B23/00;F26B25/00
代理公司: 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 代理人: 郑永泉
地址: 510663 广东省广州市高*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 晶片 烘烤 装置
【权利要求书】:

1.一种晶片的烘烤装置,包括:加热装置、传输辊、基座平台和传输带,所述传输辊设置在所述基座平台的两侧,所述传输带设置在传输辊上,所述加热装置设置在基座平台上;其特征在于,还包括收纳盘支架,所述收纳盘支架用于放置收纳盘,所述传输带上设有网状孔,所述收纳盘支架通过网状孔与所述传输带形成活动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶片的烘烤装置,其特征在于,所述传输带为金属的网状传输带。

3.根据权利要求1所述的一种晶片的烘烤装置,其特征在于,所述收纳盘支架为金属结构。

4.根据权利要求1所述的一种晶片的烘烤装置,其特征在于,所述收纳盘支架包括多个整齐排列的子支架,所述子支架的宽度与收纳盘的宽度匹配,且长度小于所述收纳盘的长度。

5.根据权利要求1所述的一种晶片的烘烤装置,其特征在于,所述收纳盘支架设有3至5个子支架。

6.根据权利要求1所述的一种晶片的烘烤装置,其特征在于,所述收纳盘支架的两侧设有向外延展的凸沿,所述收纳盘支架长度与所述传输带的宽度匹配。

7.根据权利要求1所述的一种晶片的烘烤装置,其特征在于,所述收纳盘支架与所述传输带之间设置有容纳所述收纳盘的空间,所述空间的高度为所述收纳盘的厚度的1至3倍。

8.根据权利要求1所述的一种晶片的烘烤装置,其特征在于,所述收纳盘的水平截面为矩形,所述收纳盘中间设有容纳晶片的容腔。

9.根据权利要求1所述的一种晶片的烘烤装置,其特征在于,所述收纳盘支架的下部设有与所述网状孔配合的插脚。

10.根据权利要求1所述的一种晶片的烘烤装置,其特征在于,所述加热装置设有在所述传输带的两侧。

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