[实用新型]一种晶片的烘烤装置

说明书

本实用新型涉及石英晶片生产设备技术领域，更具体地，涉及一种晶片的烘烤装置，包括加热装置、传输辊、基座平台和传输带，所述传输辊设置在基座平台的两侧，所述传输带设置在传输辊上，所述加热装置设置在基座平台上；还包括收纳盘支架，所述收纳盘支架用于放置收纳盘，所述传输带上设有网状孔，所述收纳盘支架通过网状孔与所述传输带形成活动连接。在保证烘烤质量的同时，提高烘烤的效率。

技术领域

本实用新型涉及石英晶片生产设备领域，更具体地，涉及一种晶片的烘烤装置。

背景技术

石英片，通常由石英熔炼并切割磨制而成，其二氧化硅含量可达99.99％以上。硬度为莫氏七级，具有耐高温、热膨胀系数低、耐热震性和电绝缘性能良好等特点。通常为无色透明类，可见光透过率85％以上。石英片的形成是由于其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器，光学仪器，实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建材以及国防等工业，应用十分广泛，在使用过程中需要对石英进行装片。

在石英晶体生产制造过程中，需要经过一道烘烤的工序操作流程。烘烤装置是用于烤银胶的固化隧道炉，产品经过点胶工序，用银胶将晶片和陶瓷基座粘合在一起，经过固化隧道炉高温烘烤后，银胶变干硬后固定晶片在陶瓷基座内部。但现有的烘烤设备通常只是依赖传输带上放置待烘烤的晶片，对设备内一次烘烤的空间利用率低，导致能量和时间的浪费；而普通的叠加烘烤又容易因为晶片直接接触造成遮挡，导致烘烤受热温度不均匀，影响烘烤的效果。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种晶片的烘烤装置，在保证烘烤质量的同时，提高烘烤的效率。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下方案实现：

一种晶片的烘烤装置，包括：加热装置、传输辊、基座平台和传输带，所述传输辊设置在所述基座平台的两侧，所述传输带设置在传输辊上，所述加热装置设置在基座平台上；还包括收纳盘支架，所述收纳盘支架用于放置收纳盘，所述传输带上设有网状孔，所述收纳盘支架通过网状孔与所述传输带形成活动连接。

通过双层设计，使得除传输带上放置收纳盘外，收纳盘支架还能多设置一层收纳盘的烘烤，实现烘烤效率的提高。

进一步的，所述传输带为金属的网状传输带。

所述金属传输带可以在加热装置加热时加快温度的传递，提高加热的效率，将传输带设置为网状，可以增加晶片的受热面积，增加热风的空气流动性，也方便与收纳盘支架底部通过固定插脚进行配合，形成活动连接，方便固定。

进一步的，所述收纳盘支架为金属结构。

收纳盒支架为金属结构，通过金属结构的设置可以加快热量的传递，受到高温加热也不易变形，增加承重。

进一步的，所述收纳盘支架包括多个整齐排列的子支架，所述子支架的宽度与收纳盘的宽度匹配，且长度小于所述收纳盘的长度。

所述收纳盘支架包括多个子支架，每个子支架的宽度小于所述收纳盘的长度。可将收纳盘竖置的放置在收纳盘上，并使收纳盘两端从收纳盘支架的两侧出露，方便收纳盘的放取，所述子支架的设置可使所述支架上多设置收纳盘进行加热烘烤，增加收纳盘加热烘烤的数量。

进一步的，所述收纳盘支架设有3至5个子支架。

所述子支架的设置使得收纳盘支架与收纳盘之间的配合度更高，每个都具有独立的位置减少了相互之间的干扰和空间的浪费，从而提高一次性加热烘烤的数量。

进一步的，所述收纳盘支架的两侧设有向外延展的凸沿，所述收纳盘支架长度与所述传输带的宽度匹配。