[发明专利]判定装置、试验系统、判定方法及判定程序

权利要求书

1.一种判定装置，其具备：

结果获取部，其获取对被测定器件进行的复数个项目的试验的试验结果；及，

第1判定部，其判定是否对所述试验失败的被测定器件进行重新试验；

并且，所述第1判定部基于预先对复数个被测定器件进行复数次所述试验时的试验结果的再现性来进行判定。

2.如权利要求1所述的判定装置，其中，还具备计算部，其对所述复数个项目分别计算所述再现性；

并且，所述第1判定部基于由所述计算部所算出的所述再现性，来判定是否对相应项目的试验失败的被测定器件进行重新试验。

3.如权利要求2所述的判定装置，其中，所述第1判定部，使用已学习了所述再现性的学习模型来进行判定。

4.如权利要求3所述的判定装置，其中，所述计算部具有:

学习模型，其与输入的所述复数个项目的试验结果相对应，输出重新试验的预测结果；

供给部，其对所述学习模型供给由所述结果获取部所获取的所述复数个项目的试验结果；及，

再现性获取部，其与将所述复数个项目的试验结果供给至所述学习模型相对应，从所述学习模型所输出的重新试验的预测结果中获取所述再现性。

5.如权利要求4所述的判定装置，其中，还具备学习处理部，其使用学习数据来执行所述学习模型的学习处理，该学习数据含有所述复数个项目中的至少失败的项目的项目ID、及重新试验的结果。

6.如权利要求5所述的判定装置，其中，还具备第2判定部，其使用重新试验的结果、及所述第1判定部的判定结果，来判定是否再次学习所述学习模型；

并且，所述学习处理部根据由所述第2判定部所作的判定结果，来执行所述学习模型的学习处理。

7.如权利要求2所述的判定装置，其中，所述计算部由对复数个被测定器件进行复数个所述试验的试验结果、及复数个重新试验的试验结果，来计算所述再现性。

8.如权利要求7所述的判定装置，其中，还具备第2判定部，其使用重新试验的结果、及所述第1判定部的判定结果，来判定是否更新所述再现性；

并且，所述计算部根据由所述第2判定部所作的判定结果，来更新所述再现性。

9.如权利要求6或8所述的判定装置，其中，还具备第3判定部，其根据对每隔基准数的批次所包含的被测定器件执行所述试验，且无论所述第1判定部的判定结果如何，都判定对被测定器件进行重新试验；

并且，所述第2判定部使用由所述第3判定部所执行的重新试验的结果来进行判定。

10.如权利要求2至9中任一项所述的判定装置，其中，还具备：

下限值获取部，其获取所述试验合格的被测定器件的比例的容许下限值；及，

预测部，其基于各项目的所述再现性，算出相应项目的试验失败的被测定器件中，被预测为至少在所述项目的重新试验中合格的被测定器件的预测合格个数；

并且，所述第1判定部在依照各项目的所述再现性的大小依序累计对应所述预测合格个数时，将基于所述再现性的值用作判定的阈值，该再现性与达到所述容许下限值的对应个数时、或即将达到之前的所述预测合格个数对应。

11.如权利要求1至10中任一项所述的判定装置，其中，还具备：

提取部，其获取包含试验结果的数据文件，并从所述数据文件提取各项目的试验结果；及，

存储部，其存储由所述提取部提取的试验结果；

并且，所述结果获取部，自所述存储部获取所述复数个项目的试验结果。

12.一种试验系统，其具备：权利要求1至11中任一项所述的判定装置；及，试验装置，其对被测定器件进行复数个项目的试验。