[发明专利]判定装置、试验系统、判定方法及判定程序

说明书

提供一种判定装置，其具备：结果获取部，其获取对被测定器件进行的复数个项目的试验的试验结果；及，第1判定部，其判定是否对试验失败的被测定器件进行重新试验；并且，第1判定部，基于预先对复数个被测定器件进行复数次试验时的试验结果的再现性来进行判定。

技术领域

本发明关于一种判定装置、试验系统、判定方法及判定程序。

背景技术

当对被测定器件(device)进行试验时，可能会因接触不良等而误判试验失败。因此，以往对试验失败的被测定器件进行重新试验，防止良率降低。

发明内容

在本发明的第一方面中，提供一种判定装置。判定装置可具备结果获取部，其获取对被测定器件进行的复数个项目的试验的试验结果。判定装置可具备第1判定部，其判定是否对试验失败的被测定器件进行重新试验。第1判定部可基于预先对复数个被测定器件进行复数次试验时的试验结果的再现性来进行判定。

判定装置还可具备计算部，其对复数个项目分别计算再现性。第1判定部可基于由计算部所算出的再现性，来判定是否对相应项目的试验失败的被测定器件进行重新试验。

第1判定部可使用已学习了再现性的学习模型来进行判定。

计算部可具有学习模型，其与输入的复数个项目的试验结果相对应，输出重新试验的预测结果。计算部可具有供给部，其对学习模型供给由结果获取部所获取的复数个项目的试验结果。计算部可具有再现性获取部，其与将复数个项目的试验结果供给至学习模型相对应，从学习模型所输出的重新试验的预测结果中获取再现性。

判定装置还可具备学习处理部，其使用学习数据来执行学习模型的学习处理，该学习数据含有复数个项目中的至少失败的项目的项目ID(标识符)、及重新试验的结果。

判定装置还可具备第2判定部，其使用重新试验的结果、及第1判定部的判定结果，来判定是否再次学习学习模型。学习处理部可根据由第2判定部所作的判定结果，来执行学习模型的学习处理。

计算部可由对复数个被测定器件进行复数个试验的试验结果、及复数个重新试验的试验结果，来计算再现性。

判定装置还可具备第2判定部，其使用重新试验的结果、及第1判定部的判定结果，判定是否更新再现性。计算部可根据由第2判定部所作的判定结果，来更新再现性。

判定装置还可具备第3判定部，其根据对每隔基准数的批次所包含的被测定器件执行试验，且无论第1判定部的判定结果如何，都判定对被测定器件进行重新试验。第2判定部可使用由第3判定部所执行的重新试验的结果来进行判定。

判定装置还可具备下限值获取部，其获取试验合格的被测定器件的比例的容许下限值。判定装置还可具备预测部，其基于各项目的再现性，算出相应项目的试验失败的被测定器件中，被预测为至少在所述项目的重新试验中合格的被测定器件的预测合格个数。第1判定部可在依照各项目的再现性的大小依序累计对应预测合格个数时，将基于再现性的值用作判定的阈值，该再现性与达到容许下限值的对应个数时、或即将达到之前的预测合格个数对应。

判定装置还可具备提取部，其获取包含试验结果的数据文件，并从该数据文件提取各项目的试验结果。判定装置还可具备存储部，其存储由提取部提取的试验结果。结果获取部可从存储部获取复数个项目的试验结果。

在本发明的第2方面中，提供一种试验系统，其可具备第一方面的判定装置。试验系统可具备试验装置，其对被测定器件进行复数个项目的试验。

在本发明的第3方面中，提供一种判定方法，其可具备结果获取阶段，其获取对被测定器件进行的复数个项目的试验的试验结果。判定方法可具备第1判定阶段，其判定是否对试验失败的被测定器件进行重新试验。在第1判定阶段中，可基于预先对复数个被测定器件进行复数次试验时的试验结果的再现性来进行判定。