[发明专利]由有机钌化合物构成的化学蒸镀用原料及使用该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法

权利要求书

1.一种化学蒸镀用原料，用于通过化学蒸镀法制造钌薄膜或钌化合物薄膜，

其由三亚甲基甲烷系配体(L₁)、2个羰基配体以及配体X与2价的钌配位而得的由下述化学式1的式子表示的有机钌化合物构成，

[化学式1]

RuL₁(CO)₂X

在上述化学式1中，三亚甲基甲烷系配体(L₁)由下述的化学式2的式子表示，另外，配体X为由下述的化学式3～化学式7的式子表示的异氰配体(L₂)、吡啶配体(L₃)、胺配体(L₄)、咪唑配体(L₅)、哒嗪配体(L₆)、嘧啶配体(L₇)、吡嗪配体(L₈)中的任一者，

[化学式2]

在上式中，配体L₁的取代基R为以下基团中的任一者：氢、碳原子数为1以上8以下的直链或支链的烷基、碳原子数为3以上9以下的环状烷基、碳原子数为2以上8以下的直链或支链的烯基、碳原子数为2以上8以下的直链或支链的炔基、碳原子数为2以上8以下的直链或支链的氨基、碳原子数为6以上9以下的芳基，

[化学式3]

在上式中，配体L₂的取代基R₁为以下基团中的任一者：氢、碳原子数为1以上8以下的直链或支链的烷基、或者碳原子数为3以上9以下的环状烷基、碳原子数为1以上8以下的直链或支链的氨基、碳原子数为6以上9以下的芳基、碳原子数为1以上8以下的直链或支链的烷氧基、碳原子数为1以上8以下的直链或支链的氰基、碳原子数为1以上8以下的直链或支链的硝基、碳原子数为1以上8以下的直链或支链的氟烷基，

[化学式4]

在上式中，配体L₃的取代基R₂～R₆各自为以下基团中的任一者：氢、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷基或氟烷基、氟基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷氧基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的氰基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的硝基，

[化学式5]

在上式中，配体L₄的取代基R₇～R₉各自为碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷基，

[化学式6]

在上式中，配体L₅的取代基R₁₀为以下基团中的任一者：氢、碳原子数为1以上8以下的直链或支链的烷基、碳原子数为3以上8以下的环状烷基、碳原子数为1以上8以下的直链或支链的氟烷基；取代基R₁₁～R₁₃各自为以下基团中的任一者：氢、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的氨基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷氧基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的氰基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的硝基、氟基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的氟烷基，

[化学式7]

在上式中，配体L₆的取代基R₁₄～R₁₇各自为以下基团中的任一者：氢、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的氟烷基、氟基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷氧基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的氰基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的硝基，

[化学式8]

在上式中，配体L₇的取代基R₁₈～R₂₁各自为以下基团中的任一者：氢、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的氟烷基、氟基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷氧基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的氰基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的硝基，

[化学式9]

在上式中，配体L₈的取代基R₂₂～R₂₅各自为以下基团中的任一者：氢、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的氟烷基、氟基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的烷氧基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的氰基、碳原子数为1以上5以下的直链或支链的硝基。