[发明专利]具有改进的微致动器灵敏度和微致动器配置的悬架设计在审
| 申请号： | 202180012277.4 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN115066725A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 余坤祺 | 申请（专利权）人： | 马格内康普公司 |
| 主分类号： | G11B5/48 | 分类号： | G11B5/48;G11B5/55;H01L41/083 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 改进 微致动器 灵敏度 配置 悬架 设计 | ||
1.一种具有固定端和铰接端的致动器组件，所述组件包括：
位于所述铰接端的第一侧电极；
位于所述固定端的第二侧电极；
第一PZT层，所述第一PZT层包括顶面和底面；
第一电极，所述第一电极被至少部分地设置在所述第一PZT层的底面上；
第二压电层，所述第二压电层包括顶面和被设置在所述第一PZT层的所述顶面上的底面；
第二电极，所述第二电极被至少部分地设置在所述第二PZT层的底面上并且被至少部分地设置在所述第一PZT层的顶面上，其中，所述第二电极在所述固定端处被连接到所述第二侧电极；
第三压电层，所述第三压电层包括顶面和被设置在所述第二PTZ层的顶面上的底面；
第三电极，所述第三电极被至少部分地设置在所述第三PZT层的底面上并且被至少部分地设置在所述第二PZT层的顶面上，其中，所述第三电极在所述铰接端处被连接到所述第一侧电极；和
第四电极，所述第四电极被至少部分地设置在所述第三PZT层的顶面上，其中，所述第四电极在所述固定端处被连接到所述第二侧电极。
2.如权利要求1所述的PZT致动器组件，其中，所述第一电极包括在所述固定端处被连接到所述第二侧电极的断开部分。
3.如权利要求1所述的PZT致动器组件，其中，所述第四电极包括在所述铰接端处被连接到所述第一侧电极的断开部分。
4.如权利要求3所述的PZT致动器组件，其中，在所述铰接端处被连接到所述第一侧电极的所述断开部分为0.05mm。
5.如权利要求1所述的PZT致动器组件，其中，所述第四电极为0.25mm，公差为25μm。
6.如权利要求1所述的PZT致动器组件，其中，所述第二电极为0.70mm，公差为25μm。
7.如权利要求1所述的PZT致动器组件，其中，所述第四电极为0.75mm，公差为25μm。
8.一种悬架，包括：
被安装于所述负载梁的挠曲件，所述挠曲件包括一条或多条电迹线；
至少一个多层压电(PZT)微致动器，所述至少一个多层压电(PZT)微致动器与所述一条或多条电迹线中的至少一条耦合并具有固定端和铰接端，所述多层PZT致动器组件中的每一个包括：
位于所述铰接端的第一侧电极；
位于所述固定端的第二侧电极；
第一PZT层，所述第一PZT层包括顶面和底面；
第一电极，所述第一电极被至少部分地设置在所述第一PZT层的底面上；
第二压电层，所述第二压电层包括顶面和被设置在所述第一PZT层的顶面上的底面；
第二电极，所述第二电极被至少部分地设置在所述第二PZT层的底面上并且被至少部分地设置在所述第一PZT层的顶面上，其中，所述第二电极在所述固定端处被连接到所述第二侧电极；
第三压电层，所述第三压电层包括顶面和被设置在所述第二PZT层的顶面上的底面；
第三电极，所述第三电极被至少部分地设置在所述第三PZT层的底面上并且被至少部分地设置在所述第二PZT层的顶面上，其中，所述第三电极在所述铰接端处被连接到所述第一侧电极；和
第四电极，所述第四电极被至少部分地设置在所述第三PZT层的顶面上，其中，所述第四电极在所述固定端处被连接到所述第二侧电极。
9.如权利要求8所述的悬架，其中，所述第一电极包括在所述固定端处被连接到所述第二侧电极的断开部分。
10.如权利要求8所述的悬架，其中，所述第四电极包括在所述铰接端处被连接到所述第一侧电极的断开部分。
11.如权利要求10所述的悬架，其中，在所述铰接端处被连接到所述第一侧电极的断开部分为0.05mm。
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