[发明专利]具有改进的微致动器灵敏度和微致动器配置的悬架设计

说明书

提供了一种具有固定端和铰接端的压电(PZT)致动器组件。该组件包括位于铰接端的第一侧电极和位于固定端的第二侧电极。该组件包括第三压电层，该第三压电层包括顶面和被设置在第二PZT层的顶面上的底面。第四电极被至少部分地设置在第三PZT层的顶面上。第四电极在固定端处被连接到第二侧电极。

相关申请的交叉引用

本申请要求2021年2月4日提交的美国专利申请No.17/168,052的优先权，并进一步要求2020年2月7日提交的美国临时申请No.62/971,606的优先权，这些申请中的每一篇均被以参引的方式结合到本文中。

技术领域

本公开的实施例涉及用于磁盘驱动器的悬架装置的领域。更具体地，本公开涉及用于悬架装置的多层致动器配置的领域。

背景技术

典型的磁盘驱动单元包括旋转磁盘，该磁盘包含磁性存储介质1和0的模式。磁性存储介质1和0的模式构成了存储在磁盘驱动器上的数据。磁盘由驱动马达驱动。磁盘驱动单元还包括磁盘驱动器悬架，磁性读/写头被靠近负载梁的远端安装于该磁盘驱动器悬架。悬架或负载梁的“近”端是受到支撑的端部，即最靠近基板的被型锻或以其他方式安装于致动器臂的端部。悬架或负载梁的“远”端是与近端相反的端部，即，“远”端是悬臂端。

悬架被耦合到致动器臂，该致动器臂又被耦合到音圈马达，该音圈马达使悬架弧形地移动以便将磁头滑块定位在数据盘上的正确数据磁道上。磁头滑块被承载在万向架(gimbal)上，该万向架允许滑块俯仰和滚动，使得它沿着磁盘上适当的数据轨道而行，从而允许诸如磁盘振动、惯性事件(例如颠簸)以及磁盘表面中的不规则性之类的变化。

单级致动磁盘驱动器悬架和双级致动(DSA)悬架都是已知的。在单级致动悬架中，只有音圈马达移动该悬架。

在DSA悬架中，位于悬架上的小型致动器移动磁头滑块，以便将磁头滑块定位在正确数据磁道上。致动器提供了比音圈马达的定位更为精细的磁头滑块的定位，并提供了比音圈马达更高的伺服带宽。根据特定的DSA悬架设计，致动器可被定位在悬架上的不同位置中。通常，左侧致动器和右侧致动器以推拉方式起作用以旋转负载梁或负载梁的远端。

发明内容

提供了一种具有固定端和铰接端的压电(PZT)致动器组件。该组件包括位于铰接端的第一侧电极和位于固定端的第二侧电极。该组件还包括第一PZT层，该第一PZT层包括顶面和底面。第一电极被至少部分地设置在第一PZT层的底面上。包括顶面和底面的第二压电层被设置在第一PZT层的顶面上。该组件还包括第二电极，该第二电极被至少部分地设置在第二PZT层的底面上并且被至少部分地设置在第一PZT层的顶面上。第二电极在固定端处被连接到第二侧电极。

该组件还包括第三压电层，该第三压电层包括顶面和被设置在第二PZT层的顶面上的底面。第三电极被至少部分地设置在第三PZT层的底面上并且被至少部分地设置在第二PZT层的顶面上。第三电极在铰接端处被连接到第一侧电极。第四电极被至少部分地设置在第三PZT层的顶面上。第四电极在固定端处被连接到第二侧电极。

在一些实施例中，第一电极包括在固定端处被连接到第二侧电极的断开部分。在一些实施例中，第四电极包括在铰接端处被连接到第一侧电极的断开部分。在一些实施例中，在铰接端处被连接到第一侧电极的断开部分为0.05mm。第四电极可以是0.25mm，公差为25μm。第二电极可以是0.70mm，公差为25μm。第四电极可以是0.75mm，公差为25μm。