[发明专利]多步骤过程检查方法

权利要求书

1.一种图像分析装置，所述图像分析装置用于标识由多步骤过程形成的特征的阵列的一部分的图像中的特征，所述装置包括：

图像分析模块，被配置为分析所述图像中可见的特征的变化；以及

关联模块，被配置为至少部分基于所述分析的结果，来将所述图像的特征与所述多步骤过程的步骤相关联。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述变化是所述特征的位置变化或形状变化。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述变化是以下各项中的一项或多项的位置变化：

·所述特征的质心，

·所述特征的几何中点，

·所述特征的中心线，

·所述特征的边缘，

·所述特征的尺寸，

·所述特征的多个部分的中心。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述图像分析模块被配置为：分析不同特征的所述变化之间的相关性。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述图像分析模块被配置为：确定第一特征的变化与n个相邻特征中的每个特征的变化之间的所述相关性，其中n小于4。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述图像分析模块被配置为：确定相邻特征的变化之间的所述相关性。

7.根据权利要求4所述的装置，其中所述关联模块被配置为：将具有相关变化的特征与相同的处理步骤关联。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述关联模块被配置为：将所述特征划分为具有相似程度的相关性的多个集合，并且将每个集合与所述处理步骤中的相应一个处理步骤相关联。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述图像分析模块被配置为：选择所述图像的多个区域，并且确定不同区域的所述特征之间的相关性，每个区域包括多个特征。

10.根据权利要求9所述的装置，其中每个区域包括多个经对齐的特征。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述分析包括：确定所述特征中的每个特征的轮廓。

12.一种检查装置，包括扫描电子显微镜和根据权利要求1所述的图像分析装置，所述图像分析装置被配置为分析由所述扫描电子显微镜生成的图像。

13.一种分析由自对齐四重图案形成过程形成的特征的阵列的一部分的图像的方法，所述方法包括：

标识所述图像中的多个所述特征；

为每个经标识的特征指派特点值，所述特点值表示所述特征的位置变化或形状变化；

将所述特征分组为第一组、第二组、第三组和第四组，每个组包括经对齐的特征的集合，所述第一组、所述第二组、所述第三组和所述第四组按该次序彼此相邻；

确定所述第一组的所述特点值的变化与所述第二组的所述特点值的变化之间的第一相关性值；

确定所述第二组的所述特点值的变化与所述第三组的所述特点值的变化之间的第二相关性值；

如果所述第一相关性值高于所述第二相关性值，则将所述第一组和所述第二组与所述自对齐四重图案形成过程的第一间隔物相关联，否则将所述第二组和所述第三组与所述自对齐四重图案形成过程的所述第一间隔物相关联。

14.一种图像分析方法，所述图像分析方法用于标识由多步骤过程形成的特征的阵列的一部分的图像中的特征，所述方法包括：

分析所述图像中可见的特征的变化；以及

至少部分基于所述分析的结果，将所述图像的特征与所述多步骤过程的步骤相关联。

15.一种器件制造方法，包括：

使用多步骤过程在衬底上形成特征的阵列；

获得所述阵列的一部分的图像；

根据权利要求14所述的方法，分析所述图像以将特征与所述多步骤过程的步骤相关联；

检测所述阵列的特征中的缺陷；以及

基于特征与步骤的关联以及所检测到的缺陷，执行补救措施。