[发明专利]高度测量装置及高度测量方法

权利要求书

1.一种高度测量装置，其具备：

光照射部，其将包含多个光束的照射光以相对于测定对象物的高度方向倾斜的角度照射至所述测定对象物，该多个光束在与光轴方向交叉的方向上排列且波长互不相同；

光检测部，其检测来自被照射有所述照射光的所述测定对象物的光，并输出该光的波长信息；及

解析部，其基于所述波长信息计算所述测定对象物的高度，

所述光检测部具有：

光学元件，其透过率及反射率在特定波长区域内根据波长而变化，通过使来自所述对象物的光透过及反射而将该光分离；

第1光检测器，其从已在所述光学元件反射的光检测反射光量；

第2光检测器，其从已透过所述光学元件的光检测透过光量；及

处理部，其基于所述反射光量与所述透过光量的比，计算所述波长信息并将其输出。

2.如权利要求1所述的高度测量装置，其中，

所述第1光检测器及所述第2光检测器为线传感器。

3.如权利要求1或2所述的高度测量装置，其中，

所述光照射部将包含作为平行光的所述多个光束的所述照射光照射至所述测定对象物。

4.如权利要求1至3中任一项所述的高度测量装置，其中，

所述光照射部具有：

光源，其输出白色光；及

分光元件，其通过将从所述光源输出的所述白色光分光，而输出包含多个光束的所述照射光，该多个光束在与所述光轴方向交叉的方向上波长互不相同。

5.如权利要求1至4中任一项所述的高度测量装置，其中，

进一步具备暗箱，该暗箱阻断作为照射至所述测定对象物的光的由所述光照射部照射至所述测定对象物的光以外的光。

6.如权利要求1至5中任一项所述的高度测量装置，其中，

进一步具备使所述测定对象物移动的搬送部。

7.一种高度测量方法，其包括：

光照射步骤，其将包含多个光束的照射光以相对于测定对象物的高度方向倾斜的角度照射至所述测定对象物，该多个光束在与光轴方向交叉的方向上排列且波长互不相同；

波长计算步骤，其基于由光学元件、第1光检测器及第2光检测器获得的反射光量与透过光量的比而计算来自所述测定对象物的光的波长信息，该光学元件的透过率及反射率在特定波长区域内根据波长而变化，且通过使来自所述对象物的光透过及反射而将该光分离，该第1光检测器从已在所述光学元件反射的光检测反射光量，该第2光检测器从已透过所述光学元件的光检测透过光量；及

高度计算步骤，其基于所述波长信息而计算所述测定对象物的高度。

8.如权利要求7所述的高度测量方法，其中，

在所述光照射步骤中，通过使所述测定对象物移动，而使所述测定对象物中的所述照射光的照射点连续变化，

在所述高度计算步骤中，通过计算与所述测定对象物中的各所述照射点对应的高度，而导出所述测定对象物的形状。