[发明专利]高度测量装置及高度测量方法

说明书

本发明的高度测量装置具备：光照射部，其将包含多个光束的照射光以相对于样品的高度方向倾斜的角度照射至样品，该多个光束在与光轴方向交叉的方向上排列且波长互不相同；相机系统，其检测来自被照射有照射光的样品的光，并输出该光的波长信息；及控制装置，其基于波长信息而计算样品的高度；且相机系统具有：倾斜二向色反射镜，其透过率及反射率在特定波长区域内根据波长而变化，通过使来自样品的光透过及反射而将该光分离；光检测器，其从已在倾斜二向色反射镜反射的光检测反射光量；光检测器，其从已透过倾斜二向色反射镜的光检测透过光量；及处理部，其基于反射光量与透过光量的比，计算波长信息并将其输出。

技术领域

本发明的一形态涉及高度测量装置及高度测量方法。

背景技术

作为测量测定对象物的高度的方法，已知有如下方法，即，对测定对象物照射光，检测来自该测定对象物的光，由此测量高度(例如参照专利文献1～3)。专利文献1～3所记载的高度测量方法，将包含多个光束的照射光以相对于测定对象物的高度方向倾斜的角度照射至该测定对象物，基于来自该测定对象物的反射光的波长而测量该测定对象物的高度，该多个光束在与光轴方向交叉的方向上排列且波长互不相同。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-27520号公报

专利文献2：日本特开2007-101399号公报

专利文献3：日本特开2009-145279号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

此处，在上述高度测量方法中，通过彩色摄像元件求出来自测定对象物的光的波长。在以此方式求出光的波长的情形时，导出光的波长时会受到测定对象物自身颜色的影响，因此，有导致最终的测定对象物的高度测量结果的精度降低的担忧。

本发明的一形态鉴于上述实际情况而完成，目的在于提供一种能够更高精度地测量测定对象物的高度的高度测量装置及高度测量方法。

[解决问题的技术手段]

本发明的一形态的高度测量装置具备：光照射部，其将包含多个光束的照射光以相对于测定对象物的高度方向倾斜的角度照射至测定对象物，该多个光束在与光轴方向交叉的方向上排列且波长互不相同；光检测部，其检测来自被照射有照射光的测定对象物的光，并输出该光的波长信息；及解析部，其基于波长信息而计算测定对象物的高度；且光检测部具有：光学元件，其透过率及反射率在特定波长区域内根据波长而变化，通过使来自测定对象物的光透过及反射而将该光分离；第1光检测器，其从已在光学元件反射的光检测反射光量；第2光检测器，其从已透过光学元件的光检测透过光量；及处理部，其基于反射光量与透过光量的比，计算波长信息并将其输出。