[发明专利]高频生成装置

说明书

本发明公开了一种高频生成装置(2)，其使由高频放大器放大并供给到等离子体生成电极的高频电力中的高次谐波减少，其中，高频生成装置具备生成将补偿波和基波合成而得的合成波的高频生成部(201)，补偿波是将由基波的输入而生成的高次谐波的相位反转而成。

技术领域

本发明的实施方式涉及抑制与等离子体的生成相关的高次谐波的技术。

背景技术

以往，已知有通过向等离子体生成电极供给高频电力来生成等离子体的等离子体生成装置。向生成等离子体的负载(等离子体负载)供给的高频电力被放大器放大，而产生由放大器的非线性引起的高次谐波。因此，在等离子体生成装置中，在等离子体负载与放大器之间设置有减少高次谐波的滤波器。

此外，近年来，在等离子体生成装置中，将向等离子体负载供给的高频电力切换为多个频率，主流方式是将频率被设定为12.88～14.24MHz(基波1)和38.65～42.71MHz(基波2)的2种高频电力组合使用。在该情况下，基波1的三次谐波为与基波2接近的频率，导致引起误动作，因此尤其需要利用滤波器来减少高次谐波。

需要说明的是，作为关联技术，已知有如下的等离子体生成用微波电源装置，利用微波开关周期性地切换从微波电源部输出的微波的供给处的同时向各天线分支输出微波(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开平9－274999号公报

发明内容

在上述这样的使用设定为多个频率的高频电力的等离子体生成装置中，频率不同的高频电力被同一高频放大器放大，但由于需要通过几kW程度的高电力，因此很难对滤波器的通频带进行电气切换。

因此，即使高频放大器应对多个高频电力，但需要针对切换的频率各自准备高频放大器和滤波器，因此存在在等离子体生成装置中频率切换所花费的成本变高的问题。

本发明是为了解决上述问题而做出的，其目的在于能够提供能够以更低的成本实现等离子体生成装置中的高次谐波的减少的技术。

为了解决上述技术课题，本实施方式的高频生成装置，其使由高频放大器放大并供给到等离子体生成电极的高频电力中的高次谐波减少，其中，所述高频生成装置具备生成将补偿波和基波合成而得的合成波的高频生成部，所述补偿波是将由所述基波的输入而生成的高次谐波的相位反转而成。

根据本发明，能够以更低的成本实现等离子体生成装置中的高次谐波的减少。

附图说明

图1是表示实施方式的等离子体生成装置的构成的概略框图。

图2是表示高频生成装置的硬件构成的概略框图。

图3是表示高频生成装置的功能构成的框图。

图4是表示高频生成装置的动作的流程图。

图5是表示产生了畸变的状态下的输入波形及输出波形的图。

图6是表示畸变减少的状态下的输入波形及输出波形的图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

(等离子体生成装置的构成)

对本实施方式的等离子体生成装置的构成进行说明。图1是表示本实施方式的等离子体生成装置的构成的概略框图。

如图1所示，本实施方式的等离子体生成装置1具备：高频生成装置2、DAC(Digitalto Analog Converter)11、高频放大器12、定向耦合器13、低通滤波器14、匹配器15、等离子体空间16、ADC(Analog to Digital Converter)17。其中，高频生成装置2、DAC11、高频放大器12、定向耦合器13和ADC17构成为输出用于生成等离子体的高频电力的高频电源3的一部分。