[发明专利]感光性元件及抗蚀图案的形成方法

说明书

提供兼顾分辨率的改善和卷取时皱折的防止的感光性元件、和抗蚀图案的形成方法。一种感光性元件，其特征在于，其依次具有支承膜(A)、感光性树脂组合物层(B)和保护膜(C)，JIS B0601‑2001中规定的、支承膜(A)的与感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度Rz_A1(nm)、相反侧的表面的表面粗糙度Rz_A2(nm)、保护膜(C)的与感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度Rz_C1(nm)、相反侧的表面的表面粗糙度Rz_C2(nm)满足以下的(1)～(3)：(1)1Rz_A1100、(2)300Rz_C1600、(3)40Rz_C2/Rz_A2。

技术领域

本发明涉及感光性元件及抗蚀图案的形成方法。

背景技术

个人计算机或便携式电话等电子仪器中，作为部件或半导体等的安装用，使用印刷布线板等。作为印刷布线板等的制造用的抗蚀剂，以往使用在支承膜上层叠感光性树脂组合物层、进而在该感光性树脂组合物层上根据需要层叠保护膜而成的感光性元件(感光性树脂层叠体)、所谓的干膜抗蚀剂(例如参照专利文献1、专利文献2)。

对于这种感光性元件，为了改善分辨率，作为支承膜，优选使用阻断进行曝光的光的内部异物少的高品质膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-191648号公报

专利文献2：日本特开2019-188612号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，高品质膜由于表面粗糙度小，因此将感光性树脂组合物层和保护膜层叠并以卷状卷取时，在与保护膜接触的界面，摩擦力过高而产生皱折。

本发明是鉴于这种以往的实际情况而提出的，本发明的目的在于，提供兼顾分辨率的改善和卷取时皱折的防止的感光性元件、和抗蚀图案的形成方法。

用于解决问题的方案

本发明人等发现通过以下的技术性的手段可以解决上述问题。

[1]一种感光性元件，其特征在于，

其依次具有支承膜(A)、感光性树脂组合物层(B)和保护膜(C)，

JIS B0601-2001中规定的、前述支承膜(A)的与前述感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度Rz_A1(nm)、相反侧的表面的表面粗糙度Rz_A2(nm)、前述保护膜(C)的与前述感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度Rz_C1(nm)、和相反侧的表面的表面粗糙度Rz_C2(nm)满足以下的(1)～(3)：

(1)1Rz_A1100

(2)300Rz_C1600

(3)40Rz_C2/Rz_A2。

[2]

根据[1]所述的感光性元件，其中，1Rz_A2200。

[3]

根据[1]或[2]所述的感光性元件，其中，1.1Rz_A2/Rz_A17。

[4]