[发明专利]用于计量测量的在线导航偏移校正

权利要求书

1.一种方法，其包括：

提供包括检测器及用于固持样品的载物台的工具；

使用所述工具：

配置经安置于所述样品上的第一目标的第一建模目标位置处的视场，其中通过加总第一设计目标位置与由在线模型提供的导航误差来确定所述第一建模目标位置，其中配置所述视场包括使所述载物台相对于所述检测器移动；

使用所述检测器来抓取所述视场的第一图像；及

配置经安置于所述样品上的第二目标的第二建模目标位置处的所述视场，其中通过加总第二设计目标位置与由所述在线模型提供的所述导航误差来确定所述第二建模目标位置；及

与配置所述第二建模目标位置处的所述视场并行地，使用处理器：

使用所述第一图像来确定第一实际目标位置的位置；及

用所述第一设计目标位置与所述第一实际目标位置之间的差来更新所述在线模型；

其中所述处理器与所述工具电子通信。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括，在配置所述第二建模目标位置处的所述视场之后：

使用所述工具：

使用所述检测器来抓取所述视场的第二图像；及

配置经安置于所述样品上的第三目标的第三建模目标位置处的所述视场，其中通过加总第三设计目标位置与由所述在线模型提供的所述导航误差来确定所述第三建模目标位置；及

与配置所述第三建模目标位置处的所述视场并行地，使用所述处理器：

使用所述第二图像来确定第二实际目标位置的位置；及

用所述第二设计目标位置与所述第二实际目标位置之间的差来更新所述在线模型。

3.根据权利要求2所述的方法，其中配置所述第三建模目标位置处的所述视场是在用所述第一设计目标位置与所述第一实际目标位置之间的所述差来更新所述在线模型之后。

4.根据权利要求2所述的方法，其中配置所述第三建模目标位置处的所述视场是在用所述第一设计目标位置与所述第一实际目标位置之间的所述差来更新所述在线模型之前。

5.根据权利要求1所述的方法，进一步包括使用次级数据来更新所述在线模型。

6.根据权利要求1所述的方法，其中使所述载物台相对于所述检测器移动包括使用致动器来移动所述载物台或所述检测器。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述检测器包括光学图像检测器，且抓取所述第一图像包含在所述检测器处接收光子。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述检测器包括电子检测器，且抓取所述第一图像包含在所述检测器处接收电子。

9.根据权利要求1所述的方法，进一步包括，使用所述第一图像来测量所述第一目标的覆盖。

10.一种系统，其包括：

载物台，其用于固持样品，所述样品具有经安置于其上的第一目标及第二目标；及

检测器；

其中所述系统经配置以：

配置所述第一目标的第一建模目标位置处的视场，其中通过加总第一设计目标位置与由在线模型提供的导航误差来确定所述第一建模目标位置；

使用所述检测器来抓取所述视场的第一图像；

配置所述第二目标处的第二建模目标位置处的所述视场，其中通过加总第二设计目标位置与由所述在线模型提供的所述导航误差来确定所述第二建模目标位置；及

其中配置所述视场包括使所述载物台相对于所述检测器移动；及

处理器，其经配置以与配置所述第二建模目标位置处的所述视场并行地：

使用所述第一图像来确定第一实际目标位置的位置；及

用所述第一设计目标位置与所述第一实际目标位置之间的差来更新所述在线模型；

其中所述处理器与所述检测器电子通信。