[发明专利]弹性波装置

说明书

提供损耗小的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电性基板(2)上设置有IDT电极(6)及反射器电极(7、8)，IDT电极(6)的第一电极指(6c)与第二电极指(6d)在弹性波传播方向上重叠的区域为交叉区域(K)，交叉区域(K)具有中央区域(C)、以及位于中央区域(C)的两侧的第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)，电介质膜(9、10)配置为从第一边缘区域(E1)及第二边缘区域(E2)经过反射器电极(7、8)而到达反射器电极(7、8)的弹性波传播方向外侧的区域。

技术领域

本发明涉及具有IDT电极和反射器电极的弹性波装置。

背景技术

在下述的专利文献1所记载的弹性波装置中，在支承基板上层叠有压电膜。在该压电膜上设置有IDT电极和配置在IDT电极的弹性波传播方向两侧的反射器电极。在专利文献1中，IDT电极的交叉区域具有中央区域和配置在中央区域的电极指的延伸方向外侧的第一边缘区域及第二边缘区域。在第一边缘区域及第二边缘区域，在电极指与压电膜之间设置有电介质膜。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：US 2017/0155373 A1

发明内容

发明要解决的问题

在专利文献1所记载的弹性波装置中，IDT电极与反射器电极之间的声的不连续性较大。因此，存在发生能量散射且损耗变大这样的问题。

本发明的目的在于，提供损耗小的弹性波装置。

用于解决问题的手段

本发明的弹性波装置具备：压电性基板；IDT电极，其设置在所述压电性基板上，具有相互交替插入的第一电极指及第二电极指；以及反射器电极，其配置在所述IDT电极的弹性波传播方向两侧，具有多根电极指，在所述IDT电极中，在沿弹性波传播方向观察时，所述第一电极指与所述第二电极指重叠的区域是交叉区域，所述交叉区域具有中央区域、以及配置在所述中央区域的所述第一电极指及第二电极指的延伸方向两侧的第一边缘区域及第二边缘区域，所述弹性波装置还具备电介质膜，该电介质膜被设置为从所述第一边缘区域及第二边缘区域到达设置有所述反射器电极的区域的弹性波传播方向外侧的区域。

发明效果

根据本发明，能够提供损耗小的弹性波装置。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的弹性波装置的俯视图。

图2的(a)及(b)分别是沿着图1中的A-A线及B-B线的剖视图。

图3是示出在第一实施方式的弹性波装置中电介质膜向反射器的外侧端缘伸出的伸出长度与能量泄漏率之间的关系的图。

图4是本发明的第二实施方式弹性波装置的俯视图。

图5是示出本发明的第三实施方式弹性波装置的主要部分的正面剖视图。

图6是示出本发明的第四实施方式弹性波装置的主要部分的正面剖视图。

图7是用于说明本发明的第五实施方式弹性波装置的侧面剖视图。

图8是用于说明在本发明中使用的压电性基板的变形例的正面剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的具体实施方式进行说明，由此使本发明变得清楚。

需要说明的是，本说明书中记载的各实施方式是例示性的内容，预先指出在不同的实施方式之间能够进行结构的部分置换或组合。

图1是本发明的第一实施方式弹性波装置的俯视图。图2的(a)及(b)是沿着图1中的A-A线及B-B线的局部剖视图。