[发明专利]差动排气装置及聚焦能量束装置

权利要求书

1.一种差动排气装置，其中，

所述差动排气装置具备头部，该头部能够相对于被处理基板的被处理面以与该被处理面的任意区域对置的方式进行相对移动，

在所述头部中的与所述被处理面对置的对置面形成有多个环状槽，该多个环状槽围绕所述头部的中心，

在所述头部的所述多个环状槽中的最内侧的所述环状槽的内侧区域设置有开口部，该开口部形成能够对所述被处理面进行处理的处理用空间，

在所述多个环状槽中的至少一个以上的所述环状槽连结真空泵，

在使所述对置面与所述被处理面对置的状态下，通过来自所述环状槽的吸气作用来将所述处理用空间设为高真空度，其中，

所述差动排气装置还具备：

位移驱动部，其能够使所述头部或所述被处理基板进行位移来调整所述被处理面与所述对置面的平行度及距离；

间隙测定部，其沿着所述头部的所述对置面的周缘分别配置在至少三个部位以上，能够检测所述对置面与所述被处理面之间的距离；以及

间隙控制部，其基于所述间隙测定部检测出的、所述对置面与所述被处理面之间的距离信息来控制所述位移驱动部，以使得所述对置面与所述被处理面隔开规定的距离而成为平行。

2.根据权利要求1所述的差动排气装置，其中，

所述间隙测定部检测与所述被处理面之间的空间的压力，

所述间隙控制部基于所述压力的信息来控制所述位移驱动部。

3.根据权利要求1或2所述的差动排气装置，其中，

所述被处理基板形成为在X－Y方向上具有纵横的边的长方形，

所述头部能够沿着所述被处理基板的X－Y方向进行相对移动，

所述间隙测定部设置在所述头部中的形成于最外侧的所述环状槽的外侧的四个部位，

该四个部位的所述间隙测定部的组由以所述对置面上的所述开口部的中央为中心而配置在X方向的两侧方的对和以所述开口部的中央为中心而配置在Y方向的两侧方的对这两对来构成。

4.根据权利要求1或3所述的差动排气装置，其中，

所述间隙测定部由激光位移仪构成，

该激光位移仪设定为向比所述对置面更远离所述被处理面的方向偏置配置，由此该激光位移仪与所述被处理面之间的距离成为所述激光位移仪的高精度测定区域。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的差动排气装置，其中，

所述差动排气装置具备光学显微镜，该光学显微镜对形成于所述被处理基板的校准标记进行检测。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的差动排气装置，其中，

所述差动排气装置在所述头部的附近隔开偏置距离而具备观察用显微镜，所述观察用显微镜用于观察所述被处理基板的被处理区域。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的差动排气装置，其中，

所述多个环状槽中的最外侧的所述环状槽与供给非活性气体的喷出泵连接，从该环状槽朝向被处理基板侧喷吹非活性气体来形成气幕。

8.根据权利要求1～6中任一项所述的差动排气装置，其中，

沿着所述头部的所述对置面的外周缘配置在该对置面的外侧的浮起垫与所述头部一体地设置，

所述浮起垫与供给非活性气体的喷出泵连接，该浮起垫朝向所述被处理面喷吹非活性气体来形成气幕而对所述头部向从所述被处理面离开的方向施力。