[发明专利]片粘贴装置及片粘贴方法在审
申请号: | 202180033302.7 | 申请日: | 2021-05-28 |
公开(公告)号: | CN115552588A | 公开(公告)日: | 2022-12-30 |
发明(设计)人: | 杉下芳昭 | 申请(专利权)人: | 琳得科株式会社 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;B65C9/30 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;敖莲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 粘贴 装置 方法 | ||
本发明提供一种片粘贴装置及片粘贴方法,能够防止以在供给前端部形成有褶皱、气泡的状态将粘接片粘贴于被粘物。片粘贴装置(EA)具备:片供给单元(10),其供给粘接片(AS);以及按压单元(20),其具有将粘接片(AS)按压于被粘物(WK)的按压辊(22),并将粘接片(AS)按压到相对于该按压辊(22)进行相对移动的被粘物(WK)上进行粘贴,按压单元(20)在利用按压辊(22)将粘接片(AS)按压到被粘物(WK)之前的阶段,使按压辊(22)与被粘物(WK)的被粘面(WK1)抵接,并使按压辊(22)在该被粘面(WK1)上旋转。
技术领域
本发明涉及片粘贴装置及片粘贴方法。
背景技术
已知将粘接片粘贴于被粘物的片粘贴装置(例如参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2013-74106号公报
发明内容
(一)要解决的技术问题
对于专利文献1所述的片粘贴装置10(片粘贴装置)而言,当送出单元14(片供给单元)供给粘接片AS(粘接片)时,如果该粘接片的供给方向前端部(以下也将“粘接片的供给方向前端部”简称为“供给前端部”)与按压辊19(按压辊)接触,则会发生如下不良情况:该粘接片的行进被暂时地阻碍,导致粘接片以在供给前端部形成有褶皱、气泡的状态粘贴于环形框RF(被粘物)。
本发明的目的在于,提供一种片粘贴装置及片粘贴方法,能够防止粘接片以在供给前端部形成有褶皱、气泡的状态粘贴于被粘物。
(二)技术方案
本发明采用权利要求所述的结构。
(三)有益效果
根据本发明,即使供给前端部与按压辊接触,也会由于该按压辊进行旋转而不会使粘接片的行进被暂时地阻碍。因此,能够防止粘接片以在供给前端部形成有褶皱、气泡的状态粘贴于被粘物。
附图说明
在图1中,(A)是本发明一实施方式的片粘贴装置的说明图,(B)~(E)是片粘贴装置的动作说明图。
具体实施方式
以下,基于附图对本发明一实施方式进行说明。
此外,本实施方式的X轴、Y轴、Z轴分别具有正交的关系,X轴及Y轴设定为规定平面内的轴,Z轴设定为与所述规定平面正交的轴。并且,在本实施方式中,以从与Y轴平行的、图1中的近前方向观察的情况为基准,当不指定图来表示方向时,“上”是Z轴的箭头方向且“下”是其相反方向,“左”是X轴的箭头方向且“右”是其相反方向,“前”是平行于Y轴的、图1中近前方向且“后”是其相反方向。
本发明的片粘贴装置EA具备:片供给单元10,其供给粘接片AS;以及按压单元20,其具有将粘接片AS按压于被粘物WK的按压辊22,并将粘接片AS按压到相对于该按压辊22进行相对移动的被粘物WK上进行粘贴,所述片粘贴装置EA配置于输送被粘物WK的被粘物输送单元30的附近。
片供给单元10设置为能够使临时粘接于剥离片RL的粘接片AS从该剥离片RL剥离并进行供给。
即,片供给单元10具备:支撑辊11,其对粘接片AS临时粘接于带状的剥离片RL的原材料RS进行支撑;引导辊12,其引导原材料RS;剥离板13,其作为剥离单元,使剥离片RL在剥离缘13A折回,从该剥离片RL剥离粘接片AS;驱动辊14,其支撑于作为驱动设备的转动马达14A的未图示的输出轴,与夹送辊14B夹持剥离片RL;回收辊15,其作为回收单元,支撑于未图示的驱动设备的输出轴,在片粘贴装置EA进行自动运转的期间,始终对回收辊15与夹送辊14B之间存在的剥离片RL施加规定的张力,并回收该剥离片RL。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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