[发明专利]元素分析方法、元素分析装置和元素分析装置用程序在审

专利信息
申请号: 202180036185.X 申请日: 2021-10-08
公开(公告)号: CN115667916A 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 井上贵仁;内原博 申请(专利权)人: 株式会社堀场制作所
主分类号: G01N31/12 分类号: G01N31/12
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 鹿屹;李雪春
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 元素 分析 方法 装置 程序
【权利要求书】:

1.一种元素分析方法,在加热炉内对投入坩埚的试样进行加热,由分析机构测定从所述加热炉导出的气体所含的元素的量,对所述试样中所含的元素进行分析,所述元素分析方法的特征在于,包括:

空白测定步骤,测定在仅加热所述坩埚的情况下从所述加热炉导出的气体所含的元素的量;以及

零点修正量设定步骤,根据在所述空白测定步骤中得到的空白数据中测定值上升的过渡状态区域的测定值,设定零点修正量。

2.根据权利要求1所述的元素分析方法,其特征在于,根据在所述过渡状态区域中测定值的时间微分值成为减小倾向的斜度减小区域中的多个测定值,设定所述零点修正量。

3.根据权利要求2所述的元素分析方法,其特征在于,所述斜度减小区域是在对所述空白数据进行时间微分所得的微分空白数据中取峰值的时刻起预定时间的期间的区域。

4.根据权利要求3所述的元素分析装置,其特征在于,

所述分析机构具备多个分析仪,所述多个分析仪在从所述加热炉导出气体的导出流道上从上游侧向下游侧依次设置,

针对各分析仪,根据在彼此不同的时机出现的所述斜度减小区域,分别独立地设定所述零点修正量。

5.根据权利要求3或4所述的元素分析方法,其特征在于,在所述分析机构中配置在最上游侧的分析仪所出现的所述斜度减小区域是出现在从所述空白数据的测定开始时点起7秒以上且20秒以下的时间段的区域。

6.根据权利要求4或5所述的元素分析方法,其特征在于,比配置在最上游侧的分析仪更位于下游侧的分析仪所出现的所述斜度减小区域是将配置在最上游侧的分析仪所出现的所述斜度减小区域作为基准经过了预定的延迟时间而出现的区域。

7.根据权利要求2至6中任意一项所述的元素分析方法,其特征在于,所述斜度减小区域是在对所述空白数据进行时间微分所得的微分空白数据中成为峰值的时刻到减少为峰值的10%的时刻为止的区域。

8.根据权利要求2至7中任意一项所述的元素分析方法,其特征在于,所述零点修正量是所述空白数据的所述斜度减小区域中的连续四点的测定值的平均值。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的元素分析方法,其特征在于,

所述元素分析方法还包括:

试样测定步骤,测定在加热所述坩埚和所述试样的情况下从所述加热炉导出的气体所含的元素的量;以及

试样数据生成步骤,根据在所述试样测定步骤中得到的原始数据中测定值上升的过渡状态区域的测定值,设定零点修正量,并且算出利用所述零点修正量对所述原始数据进行了零点修正所得的试样数据。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的元素分析方法,其特征在于,

所述元素分析方法还包括空烧步骤,在所述空烧步骤中,仅加热所述坩埚,将从所述坩埚产生的气体不导入所述分析机构而向排气流道排出,

通过在所述空烧步骤中或所述空烧步骤结束后将从所述坩埚产生的气体的导入目的地从所述排气流道切换为所述分析机构,从而开始所述空白测定步骤。

11.一种元素分析装置,其包括:加热炉,对投入坩埚的试样进行加热;以及分析机构,测定从所述加热炉导出的气体所含的元素的量,所述元素分析装置对所述试样中所含的元素进行分析,

所述元素分析装置的特征在于,包括:

空白测定结果存储部,存储在仅加热所述坩埚的情况下所述分析机构测定出的从所述加热炉导出的气体所含的元素的量作为空白数据;以及

零点修正部,根据在所述空白数据中测定值上升的过渡状态区域的测定值,设定零点修正量。

12.一种元素分析装置用程序,用于元素分析装置,所述元素分析装置包括:加热炉,对投入坩埚的试样进行加热;以及分析机构,测定从所述加热炉导出的气体所含的元素的量,所述元素分析装置对所述试样中所含的元素进行分析,

所述元素分析装置用程序的特征在于,

使计算机发挥作为空白测定结果存储部和零点修正部的机构,

所述空白测定结果存储部存储在仅加热所述坩埚的情况下所述分析机构测定出的从所述加热炉导出的气体所含的元素的量作为空白数据,

所述零点修正部根据在所述空白数据中测定值上升的过渡状态区域的测定值,设定零点修正量。

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