[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，使旋转翼旋转来进行气体的排出，其特征在于，

前述真空泵具备清洁功能部和堆积检测功能部，

前述清洁功能部用于清洁功能，前述清洁功能清洁前述真空泵内的堆积物，

前述堆积检测功能部用于堆积检测功能，前述堆积检测功能检测前述堆积物。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

具备清洁完成判定功能部，前述清洁完成判定功能部用于清洁完成判定功能，前述清洁完成判定功能判定前述清洁的完成，

基于前述堆积检测功能部的检测结果，前述清洁完成判定功能部输出表示前述清洁的完成的清洁完成信号。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述清洁完成判定功能部基于前述堆积检测功能部的检测结果和能够改变的阈值进行前述清洁的完成的判定。

4.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述堆积检测功能部具备投光部和受光部，

前述投光部被朝向排出气体的流路地配置，

前述受光部隔着前述流路与前述投光部相向，接受从前述投光部投射的检测光。

5.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述堆积检测功能部具备投光部、反射部和受光部，

前述投光部被朝向排出气体的流路地配置，

前述反射部配置成隔着前述流路与前述投光部相向，将从前述投光部投射的检测光向前述流路反射，

前述受光部接受被前述反射部反射的检测光。

6.如权利要求5所述的真空泵，其特征在于，

前述投光部和前述反射部的反射面被以除了90度的既定的角度配设。

7.如权利要求1至3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述堆积检测功能部具备在排出气体的流路内设置的至少一对电极，

能够检测前述电极间的电阻及静电容量中的一方或两方的变化。

8.如权利要求7所述的真空泵，其特征在于，

具备温度检测功能部和检测值修正功能部，

前述温度检测功能部检测前述堆积检测功能部的安装对象部位的温度，

前述检测值修正功能部基于前述温度检测功能部的检测结果，修正从前述堆积检测功能部的检测量读取的检测值。