[发明专利]量测辐射系统中的高压和真空水平传感器

权利要求书

1.一种用于测量极紫外(EUV)辐射系统中的辐射燃料的燃料填充水平的方法，所述方法包括：

以预定入射角，引导检查射束通过所述辐射燃料的顶部表面处的燃料箱观察端口；

在与所述观察端口相邻定位的传感器处，接收所述检查射束的由所述辐射燃料的所述顶部表面反射的一部分；

确定所述检查射束的传输位置的传输坐标；

确定所述检查射束的所接收的一部分的接收位置的接收坐标；

测量所述接收坐标与所述传输坐标之间的距离；以及

基于所测量的距离，计算所述燃料箱中的所述辐射燃料的所述填充水平。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述检查射束在多个照射点处被引导，并且所述计算基于具有最高信号强度的一个或多个反射。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括：

向第一上游箱传输信号，所述信号指示所计算的填充水平，所述第一上游箱向所述燃料箱供应所述辐射燃料。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所传输的信号还包括对所述第一上游箱的维持动作过程命令，所述维持动作过程命令用于响应于所述填充水平在预定阈值内而维持动作过程。

5.根据权利要求3所述的方法，还包括：

向第二上游箱传输第二信号，所述第二信号指示所计算的填充水平，所述第二上游箱向所述第一上游箱供应所述辐射燃料，所述第二上游箱被配置为收集所述辐射燃料并且将所述辐射燃料加热到预定温度。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述辐射燃料是锡(Sn)，并且其中传输所述第二信号还包括：传输用于供应所述锡的时间参数，所述时间参数把加热所述锡所需的时间考虑在内。

7.根据权利要求5所述的方法，其中所述第二信号还指令所述第二上游箱将所收集和加热的辐射燃料供应到所述第一上游箱。

8.根据权利要求7所述的方法，还包括：

测量正在被加热的辐射燃料的量；以及

向所述传感器传输所测量的量，所测量的量指示达到所述EUV辐射系统的所述燃料供给水平的辐射燃料的量。

9.根据权利要求3所述的方法，还包括：

对来自所述一个或多个反射的另一反射信号进行处理，所述另一反射信号的强度比具有最高信号强度的所述一个或多个反射的强度低；以及

生成操作员消息，所述消息指示与所述观察端口相关联的污染水平。

10.根据权利要求1所述的方法，还包括：

响应于所述燃料箱被定位在与竖直位置的角度偏差处，测量所述检查射束的从箱壁接收的一部分检查射束的箱光强度反射，所述箱光强度反射指示所述箱中的燃料水平；以及

测量来自所述燃料箱中的所述燃料的燃料光强度反射，所述燃料光强度反射指示所述燃料的纯度水平。

11.一种用于测量极紫外(EUV)辐射系统中的辐射燃料的燃料填充水平的测量设备，所述测量设备定位成与燃料箱观察端口相邻，所述测量设备包括：

传输器，被配置为以预定入射角引导检查射束通过所述辐射燃料的顶部表面处的所述燃料箱观察端口；

接收器，被配置为接收所述检查射束的由所述辐射燃料的所述顶部表面反射的一部分；以及

处理电路系统，被配置为确定所述检查射束的传输位置的传输坐标；

确定所述检查射束的所接收的一部分的接收位置的接收坐标；

测量所述接收坐标与所述传输坐标之间的距离；以及

基于所测量的距离，计算所述燃料箱中的所述辐射燃料的填充水平。

12.根据权利要求11所述的测量设备，其中所述检查射束在多个照射点处被引导，并且所述计算基于具有最高信号强度的一个或多个反射。