[发明专利]用于腔室排气清洁的清洁单元

权利要求书

1.一种移动清洁模块，包括：

腔室，其中所述腔室包括第一开口及第二开口；及

盖，所述盖密封所述第一开口，其中所述盖包括：

介电板；

介质谐振器，所述介质谐振器耦接至所述介电板；

单极天线，所述单极天线安置于进入所述介质谐振器中的孔中；及

导电层，所述导电层环绕所述介质谐振器。

2.如权利要求1所述的移动清洁模块，其中所述第二开口包括凸缘。

3.如权利要求2所述的移动清洁模块，其中所述凸缘为KF40凸缘或KF50凸缘。

4.如权利要求1所述的移动清洁模块，进一步包括：

端口，所述端口用于将气体引入所述腔室。

5.如权利要求1所述的移动清洁模块，其中所述盖进一步包括用于流动冷却剂的通道。

6.如权利要求1所述的移动清洁模块，其中所述单极天线电耦接至固态微波源。

7.如权利要求1所述的移动清洁模块，其中所述盖进一步包括：

第二介质谐振器，所述第二介质谐振器耦接至所述介电板；及

第二单极天线，所述第二单极天线安置于所述第二介质谐振器中的孔中。

8.如权利要求1所述的移动清洁模块，其中所述介质谐振器为与所述介电板分离的主体。

9.如权利要求1所述的移动清洁模块，其中所述介质谐振器及所述介电板为整体结构。

10.如权利要求1所述的移动清洁模块，其中所述导电层包括相邻于所述介电板的第一导电层及在所述第一导电层上的第二导电层，其中所述第一导电层的热膨胀系数小于所述第二导电层的热膨胀系数。

11.一种移动清洁组件，包括：

推车；

固态电子装置模块，所述固态电子装置模块在所述推车上，其中所述固态电子装置模块被配置为产生微波电磁辐射；

处理器，所述处理器在所述推车上且电耦接至所述固态电子装置模块；及

等离子体清洁模块，其中所述等离子体清洁模块电耦接至所述固态电子装置模块。

12.如权利要求11所述的移动清洁组件，进一步包括：

温度受控容器，所述温度受控容器在所述推车上且电耦接至所述处理器，其中所述温度受控容器被配置为维持传热流体，且其中所述等离子体清洁模块流体耦接至所述温度受控容器。

13.如权利要求11所述的移动清洁组件，进一步包括：

气体面板，所述气体面板在所述推车上且电耦接至所述处理器，其中所述等离子体清洁模块流体耦接至所述气体面板。

14.如权利要求11所述的移动清洁组件，其中通过120V或240V插座为所述推车供应功率。

15.如权利要求11所述的移动清洁组件，其中所述等离子体清洁模块包括：

腔室，其中所述腔室包括第一开口及第二开口；及

盖，所述盖密封所述第一开口，其中所述盖包括：

介电板；

介质谐振器，所述介质谐振器耦接至所述介电板；

单极天线，所述单极天线安置于进入所述介质谐振器中的孔中；及

导电层，所述导电层环绕所述介质谐振器。

16.如权利要求15所述的移动清洁组件，其中所述第二开口包括凸缘。