[发明专利]水处理装置、超纯水制造装置以及水处理方法

权利要求书

1.一种水处理装置，具有：

阴离子去除单元，其从包含过氧化氢和阴离子的被处理水中去除阴离子；以及

铂族催化剂载体，其位于所述阴离子去除单元的下游侧。

2.根据权利要求1所述的水处理装置，其中，

所述阴离子去除单元是阴离子交换体，

所述水处理装置具有离子交换塔，所述离子交换塔填充有所述阴离子交换体和所述铂族催化剂载体。

3.根据权利要求2所述的水处理装置，其中，

所述离子交换塔是将所述阴离子交换体、阳离子交换体和所述铂族催化剂载体彼此分离地进行填充后的再生型离子交换塔，且所述阴离子交换体与所述铂族催化剂载体相邻地被填充。

4.根据权利要求1所述的水处理装置，其中，

所述阴离子去除单元是阴离子交换体，

所述水处理装置具有：填充有所述阴离子交换体的离子交换塔、以及填充有所述铂族催化剂载体的催化剂塔。

5.根据权利要求4所述的水处理装置，其中，

所述离子交换塔是还填充有阳离子交换体的再生型复床式离子交换塔。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的水处理装置，其中，

所述水处理装置利用所述被处理水制造纯水。

7.一种超纯水制造装置，具备：

权利要求6所述的水处理装置；

前处理系统，其设置于所述水处理装置的上游侧；以及

子系统，其设置于所述水处理装置的下游侧。

8.一种水处理方法，包括：

从包含过氧化氢和阴离子的被处理水中去除阴离子的步骤；以及

将去除了所述阴离子后的被处理水中含有的所述过氧化氢以铂族催化剂进行去除的步骤。

9.根据权利要求8所述的水处理方法，其中，

利用所述被处理水制造纯水。