[发明专利]水处理装置、超纯水制造装置以及水处理方法

说明书

本发明提供能提高过氧化氢的去除效率的水处理装置。水处理装置(纯水制造装置)(2A)具有：阴离子去除单元(16)，其从包含过氧化氢和阴离子的被处理水中去除阴离子；以及铂族催化剂载体(催化剂塔20)，其位于阴离子去除单元(16)的下游侧。

技术领域

本发明基于2020年6月23日申请的日本申请特愿2020-107736，并主张基于该申请的优先权。该申请的全部内容作为参照被引入本发明中。

本发明涉及水处理装置、超纯水制造装置以及水处理方法。

背景技术

随着对纯水水质的高度要求的显现，近年来，正在研究将纯水中含有的微量有机物分解去除的各种方法。作为这种方法的代表性的方法，导入基于紫外线氧化处理的有机物的分解去除工序。此时，为了提高分解去除有机物的效率，有时在被处理水中预先添加过氧化氢。通过照射紫外线，由过氧化氢产生羟基自由基，通过羟基自由基来促进有机物的氧化分解。另外，在不添加过氧化氢而照射紫外线的情况下，也会在被处理水中产生过氧化氢。

然而，由于剩余的过氧化氢会影响处理水的水质，因此希望尽可能予以去除。在专利第5045099号说明书和专利第5649520号说明书中，公开了将用于去除由有机物的分解产生的分解产物的阴离子树脂与用于分解过氧化氢的催化剂载体进行了混合填充的催化剂塔。在专利第5649520号说明书还公开了如下内容：在这样的催化剂塔中，可以在被处理液的流入侧填充催化剂载体，在流出侧复床填充阴离子树脂，也可以将填充有催化剂载体的催化剂塔和仅填充有阴离子树脂的阴离子交换塔以该顺序进行配置。

发明内容

本发明的发明人发现通过专利第5045099号说明书以及专利第5649520号说明书中公开的方法难以提高过氧化氢的去除效率。本发明的目的在于，提供能提高过氧化氢的去除效率的水处理装置。

本发明的水处理装置具有：阴离子去除单元，其从包含过氧化氢和阴离子的被处理水中去除阴离子；以及铂族催化剂载体，其位于阴离子去除单元的下游侧。

根据本发明，能够提供能提高过氧化氢的去除效率的水处理装置。

上述以及其他的本发明的目的、特征以及优点将通过参照例示了本发明的附图的以下说明的具体实施方式而明确。

附图说明

图1A是实施方式1A所涉及的纯水制造装置的概略构成图。

图1B是实施方式1B所涉及的纯水制造装置的概略构成图。

图1C是实施方式1C所涉及的纯水制造装置的概略构成图。

图2A是实施方式2A所涉及的纯水制造装置的概略构成图。

图2B是实施方式2B所涉及的纯水制造装置的概略构成图。

图3A是实施方式3A所涉及的纯水制造装置的概略构成图。

图3B是实施方式3B所涉及的纯水制造装置的概略构成图。

图4是实施例1中使用的试验装置的概略构成图。

图5是表示实施例1中的被处理水的pH与尿素去除率的关系的曲线图。

图6是表示实施例1中的被处理水的次溴酸浓度与尿素去除率的关系的曲线图。

图7A是实施例2中使用的试验装置的概略构成图。

图7B是实施例2中使用的试验装置的概略构成图。

图8A是实施例3中使用的试验装置的概略构成图。

图8B是实施例3中使用的试验装置的概略构成图。

图9A是实施例3中使用的试验装置的概略构成图。

图9B是实施例3中使用的试验装置的概略构成图。

具体实施方式

(实施方式1A～1C)