[发明专利]用于真空歧管的被动阀

权利要求书

1.一种阀，其构造成在真空室与端口之间位于真空歧管中并且当所述端口由物体接合时将所述真空室被动地联接到所述端口，所述阀包括：

移动构件，其具有第一端和与所述第一端相对的第二端，其中所述移动构件可在关闭位置与打开位置之间移动；

通道，其在所述第一端与所述第二端之间延伸通过所述移动构件；

排放孔口，其在所述通道与所述移动构件的在所述移动构件处于所述关闭位置中时暴露于所述真空室的侧部之间延伸通过所述移动构件；以及

偏压机构，其构造成将所述移动构件偏压到所述关闭位置；

其中当所述移动构件处于所述关闭位置中时，所述移动构件的第一端与所述真空室接触以阻止气体在所述第一端处移动进入和离开所述通道；

其中当所述移动构件处于所述打开位置中时，所述移动构件的第一端不与所述真空室接触；

其中所述排放孔口允许气体经过，使得当在所述真空室中抽真空并且所述端口由物体接合时，所述移动构件的第二端上的压力降低以克服所述偏压机构的力并且引起所述移动构件被动地从所述关闭位置移动到所述打开位置。

2.根据权利要求1所述的阀，其中，所述排放孔口的一个或多个尺寸基于当所述移动构件处于所述关闭位置中时允许经过所述排放孔口的气体的预定流速来选择。

3.根据前述权利要求中任一项所述的阀，其中，所述通道沿与所述排放孔口沿其延伸的方向基本上垂直的方向延伸。

4.根据前述权利要求中任一项所述的阀，其中，所述排放孔口包括所述移动构件的第一端中的凹口和所述移动构件中的通孔中的至少一个。

5.根据前述权利要求中任一项所述的阀，其中，所述移动构件按形状为圆柱的并且所述通道为所述移动构件中的通孔。

6.根据权利要求5所述的阀，其中，所述移动构件的圆柱形状具有阶梯状直径轮廓，使得包括所述第一端的所述移动构件的第一部分具有第一直径，包括所述第二端的所述移动构件的第二部分具有第二直径，并且所述第一直径小于所述第二直径。

7.根据权利要求6所述的阀，其中，所述移动构件的第二部分包括与所述第二端相对的第三端，并且其中所述第三端暴露于周围环境。

8.根据权利要求7所述的阀，其中，所述第三端具有围绕所述移动构件的第一部分延伸的槽，并且其中所述槽经由参考通道连通地联接到所述周围环境。

9.根据权利要求6至权利要求8中任一项所述的阀，其中，所述移动构件构造成位于所述真空歧管的包括第一开孔和第二开孔的一部分内，其中所述移动构件的第一部分位于所述第一开孔中并且所述移动构件的第二部分位于所述第二开孔中，其中所述第一直径选择成限制气体在所述移动构件的第一部分与所述第一开孔之间通过，并且其中所述第二直径选择成限制气体在所述移动构件的第二部分与所述第二开孔之间通过。

10.根据前述权利要求中任一项所述的阀，其中，所述偏压机构包括定位在所述端口与所述移动构件的第二端之间的压缩弹簧。

11.根据前述权利要求中任一项所述的阀，其中，所述通道的截面面积小于所述端口中的气体通路的截面面积。

12.根据权利要求11所述的阀，其中，当接合构件联接到所述端口并且所述接合构件具有气体通路时，所述通道的截面面积小于所述接合构件的气体通路的截面面积。

13.根据权利要求1所述的阀，其中，当所述物体从所述端口脱离时，所述偏压机构构造成将所述移动构件从所述打开位置移动到所述关闭位置。