[发明专利]感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法

说明书

一种感光性元件，其依次具备支撑膜、阻挡层及感光层，其中，阻挡层含有流平剂。

技术领域

本发明涉及一种感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法。

背景技术

以往，在印刷线路板的制造领域中，作为蚀刻处理或镀敷处理等中所使用的抗蚀剂材料，可广泛使用感光性树脂组合物及具备使用感光性树脂组合物形成于支撑膜上的层(以下，也称为“感光层”。)的感光性元件。

印刷线路板使用上述感光性元件例如通过以下步骤来制造。即，首先，将感光性元件的感光层层压在镀铜层叠板等电路形成用基板上。此时，感光层的与和支撑膜接触的表面相反的一侧的表面与形成电路形成用基板的电路的表面紧密地层压。并且，例如，通过在电路形成用基板上加热压接感光层来进行层压(常压层压法)。

接着，通过使用掩膜等将感光层的所期望的区域经由支撑膜进行曝光来产生自由基。所产生的自由基通过几个反应路径并有助于光聚合性化合物的交联反应(光固化反应)。接着，在剥离支撑膜之后，用显影液溶解或分散去除感光层的未固化部而形成抗蚀剂图案。接着，将抗蚀剂图案作为抗蚀剂，实施蚀刻处理或镀敷处理而形成导体图案，最终剥离(去除)感光层的光固化部(抗蚀剂图案)。

近年来，正在研究使用在支撑膜与感光层之间具备具有阻气性的阻挡层(中间层)的感光性元件(例如，参考专利文献1)。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2019/216353号

发明内容

发明要解决的技术课题

然而，阻挡层的涂布稳定性并非总是充分，在形成于支撑膜上时容易产生缩孔，并且在所获得的阻挡层表面容易产生缺陷(例如，在阻挡层的一部分涂膜处产生凹陷等而露出基底等)。由于阻挡层表面的缺陷产生曝光障碍，从而产生抗蚀剂缺损。并且，阻挡层与支撑膜的密合性强，有时在剥离支撑膜时有一部分阻挡层在附着于支撑膜的状态下与支撑膜一同剥离，从而阻挡层缺损。

本发明是鉴于上述以往技术所具有的课题而完成的，其目的在于提供一种能够减少阻挡层表面的缺陷数，并且在剥离支撑膜时能够抑制阻挡层缺损的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法。

用于解决技术课题的手段

为了实现上述目的，本发明提供一种感光性元件，其依次具备支撑膜、阻挡层及感光层，其中上述阻挡层含有流平剂。

本发明的感光性元件中，由于阻挡层含有流平剂，通过降低表面张力抑制缩孔而能够减少表面的缺陷数，并且降低阻挡层与支撑膜的密合力而剥离支撑膜时能够抑制阻挡层缺损。

在上述感光性元件中，上述流平剂可包含共聚物，所述共聚物具有源自选自由(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、末端甲氧基EO改性(甲基)丙烯酸酯组成的组中的至少一种的结构单元。流平剂包含上述共聚物，由此能够进一步减少阻挡层的表面缺陷数，并且能够更充分地抑制剥离支撑膜时阻挡层缺损。

在上述感光性元件中，上述阻挡层可以含有聚乙烯醇。当阻挡层含有聚乙烯醇时，能够进一步提高阻挡层的阻气性，并且能够进一步抑制由用于曝光的活性光线产生的自由基的失活。

在上述感光性元件中，上述阻挡层的厚度可以为2～12μm。

在上述感光性元件中，上述感光层可包含双酚A型二(甲基)丙烯酸酯化合物。并且，上述感光层可包含2,2-双(4-((甲基)丙烯酰氧基五乙氧基)苯基)丙烷和/或2,2-双(4-((甲基)丙烯酰氧基二乙氧基)苯基)丙烷。