[发明专利]模块化前级管道系统

权利要求书

1.一种用于形成前级管道的零件套件，所述前级管道用于将处理腔室联接到真空泵送和/或减排系统，所述套件包括：

多个前级管道段；其中，

每个前级管道段是包括以下各者的管子：

基本上笔直的第一端部分；

基本上笔直的第二端部分，其与所述第一端部分相对；以及

中间部分，其设置在所述第一端部分和所述第二端部分之间并且通过相应的弯头连接到所述第一端部分和所述第二端部分；

所述第一端部分和所述第二端部分基本上彼此平行；

所述中间部分相对于所述第一端部分和所述第二端部分倾斜；并且

所述多个前级管道段中的前级管道段被构造成附接在一起以便形成连续的前级管道。

2.根据权利要求1所述的零件套件，其中，每个前级管道段包括用于加热该前级管道段的相应器件，使得对每个前级管道段的加热是独立可控的。

3.根据权利要求1或2所述的零件套件，其进一步包括一个或多个另外的前级管道段，每个另外的前级管道段是基本上笔直的管子，其中，所述另外的前级管道段被构造成附接到所述前级管道段并且附接到彼此，以便形成连续的前级管道。

4.根据权利要求3所述的零件套件，其中，每个另外的前级管道段包括用于加热该另外的前级管道段的相应器件，使得对每个另外的前级管道段的加热是独立可控的。

5.根据权利要求3或4所述的零件套件，其中，所述一个或多个另外的前级管道段中的每一个具有大于或等于该另外的前级管道段的直径的十倍的长度。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的零件套件，其中，所述中间部分具有大于或等于该中间部分的直径的十倍的长度。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的零件套件，其中：

所述第一端部分和所述中间部分之间的角度、以及所述第二端部分和所述中间部分之间的角度介于30°和60°之间。

8.根据权利要求7所述的零件套件，其中，所述角度是大约45°。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的零件套件，其中，所述多个前级管道段中的每一个具有选自由以下各者组成的直径范围的直径：40mm、63mm、80mm、100mm、160mm、200mm、250mm和300mm。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的零件套件，其进一步包括选自由以下各者组成的元件组的一个或多个元件：

一个或多个捕集器，其被构造成附接到相应的前级管道段；

一个或多个反应器，其被构造成安装在相应的前级管道段内；

一个或多个波纹管，其被构造成附接到相应的前级管道段的端部；以及

一个或多个过滤器，其被构造成联接到相应的前级管道段。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的零件套件，其中，对于每个前级管道段，所述第一端部分的远端包括第一凸缘，并且所述第二端部分的远端包括第二凸缘。

12.一种前级管道，其包括联接在一起的根据权利要求1至11中任一项所述的零件套件中的多个前级管道段。

13.根据权利要求12所述的前级管道，当权利要求12从属于权利要求2时，其中，所述前级管道包括恰好两个前级管道段和恰好三个基本上笔直的另外的前级管道段。

14.根据权利要求13所述的前级管道，其中，所述前级管道段和所述另外的前级管道段交替地附接在一起。

15.一种系统，其包括：

处理腔室；

真空泵送和/或减排系统；以及

前级管道，其附接在所述处理腔室和所述真空泵送和/或减排系统之间；其中，

所述前级管道是根据权利要求12至14中任一项所述的前级管道。