[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其具备：

成膜室，该成膜室至少设置有成膜材料和被成膜物，能够设定为规定的成膜气氛；

炉膛内衬，该炉膛内衬设置于所述成膜室的内部，容纳所述成膜材料；

加热源，该加热源设置于所述成膜室的内部，对容纳在所述炉膛内衬的成膜材料进行加热；和

材料供给室，该材料供给室配置于所述炉膛内衬的上方，具有填充用于供给至所述炉膛内衬的粒状的成膜材料的材料填充部，通过具有闸阀的连通路径而与所述成膜室连接，能够设定为规定的压力气氛，

所述连通路径的上端设置于所述材料填充部的补给位置，所述连通路径的下端设置于所述炉膛内衬的补给位置，

在将所述成膜室设定为成膜气氛的状态下，将所述材料供给室的内部设定为所述规定的压力气氛后，打开所述闸阀，利用所述成膜材料的自重使填充在所述材料填充部的粒状的成膜材料通过所述连通路径供给至所述炉膛内衬。

2.一种成膜装置，其具备：

成膜室，该成膜室至少设置有成膜材料和被成膜物，能够设定为规定的成膜气氛；

炉膛内衬，该炉膛内衬设置于所述成膜室的内部，容纳所述成膜材料；

加热源，该加热源设置于所述成膜室的内部，对容纳在所述炉膛内衬的成膜材料进行加热；和

材料供给室，该材料供给室具有填充用于供给至所述炉膛内衬的成膜材料的材料填充部，通过具有闸阀的连通路径而与所述成膜室连接，能够设定为规定的压力气氛，

在将所述成膜室设定为成膜气氛的状态下，将所述材料供给室的内部设定为所述规定的压力气氛后，打开所述闸阀，通过所述连通路径将填充在所述材料填充部的成膜材料供给至所述炉膛内衬，

在该成膜装置中，进一步具备重量测量器，该重量测量器测量供给至所述炉膛内衬的成膜材料的重量。

3.如权利要求2所述的成膜装置，其中，所述重量测量器在所述成膜室的内部被设定为成膜气氛的状态下测量供给至所述炉膛内衬的成膜材料的重量。

4.如权利要求2或3所述的成膜装置，其中，在所述成膜室设有：

第1驱动部；和

炉膛支架，该炉膛支架通过所述第1驱动部能够旋转，在同心圆上支撑所述炉膛内衬，

在所述材料供给室设有：

第2驱动部；和

材料填充部，该材料填充部通过所述第2驱动部能够旋转，被支撑在同心圆上，填充所述成膜材料，

该成膜装置还具备控制器，该控制器分别控制所述第1驱动部和所述第2驱动部的旋转角度，将使所述炉膛内衬的旋转方向的位置和所述材料填充部的旋转方向的位置与所述连通路径的位置一致的控制信号输出到所述第1驱动部和所述第2驱动部。

5.如权利要求2或3所述的成膜装置，其中，在所述成膜室设有：

第1驱动部；和

炉膛支架，该炉膛支架通过所述第1驱动部能够旋转，在同心圆上支撑所述炉膛内衬，

在所述材料供给室的与所述连通路径的位置相当的位置设有填充所述成膜材料的材料填充部，

该成膜装置还具备控制器，该控制器控制所述第1驱动部的旋转角度，将使所述炉膛内衬的旋转方向的位置与所述材料填充部的旋转方向的位置和所述连通路径的位置一致的控制信号输出到所述第1驱动部。

6.如权利要求4或5所述的成膜装置，其中，所述控制器比较由所述重量测量器所测量的成膜材料的重量与预先设定的基准重量范围，

关于所述比较的结果，在所述成膜材料的重量为所述基准重量范围内的情况下，继续进行成膜处理，

关于所述比较的结果，在所述成膜材料的重量比所述基准重量范围轻的情况下，进一步向所述炉膛内衬供给成膜材料，

关于所述比较的结果，在所述成膜材料的重量比所述基准重量范围重的情况下，中止成膜处理，输出警告。

7.如权利要求4或5所述的成膜装置，其中，所述炉膛内衬以能够分离的方式被支撑于所述炉膛支架，

所述第1驱动部的旋转轴与所述炉膛支架连接。