[发明专利]坚固的流体耦合装置

权利要求书

1.一种目标材料供应装置，包括：

第一流体流动部件和第二流体流动部件，所述第一流体流动部件和所述第二流体流动部件当联结在一起时限定轴向流动路径，其中所述轴向流动路径在目标材料流体的源和喷嘴供应装置之间并且被配置为朝向所述喷嘴供应装置递送所述目标材料流体；以及

耦合装置，所述耦合装置被配置为密封在所述第一流体流动部件和所述第二流体流动部件之间的接头，所述耦合装置包括具有限定内开口的环形形状的垫圈，当被安置和密封时所述内开口是所述轴向流动路径的一部分；

其中当所述垫圈被安置在所述第一流体流动部件和所述第二流体流动部件之间以由此密封通过附接所述第一流体流动部件和所述第二流体流动部件而形成的所述接头时，从沿着所述轴向流动路径穿过所述垫圈的内开口的目标材料流体施加到所述垫圈的压力改善了所述接头处的所述密封的气密功能。

2.根据权利要求1所述的目标材料供应装置，其中所述垫圈被配置为能够从所述接头拆卸而不损坏所述接头。

3.根据权利要求1所述的目标材料供应装置，其中在径向平面中延伸的所述垫圈的至少一个表面被配置为：在所述垫圈的外径向配合表面已经与相邻流体流动部件的内径向配合表面接合之后，与所述相邻流体流动部件的突起接合。

4.根据权利要求1所述的目标材料供应装置，其中所述第一流体流动部件是适配器，并且所述第二流体流动部件是目标材料流体储存器，所述适配器被定位在所述目标材料流体储存器和所述喷嘴供应装置之间。

5.根据权利要求4所述的目标材料供应装置，其中所述适配器由钼铼制成并且所述垫圈由聚酰亚胺制成。

6.根据权利要求1所述的目标材料供应装置，还包括被安置在所述垫圈的所述内开口内的功能插入件，所述功能插入件包括作为所述轴向流动路径的一部分的内开口，所述功能插入件的内开口的直径小于所述垫圈的所述内开口的直径。

7.根据权利要求6所述的目标材料供应装置，其中所述功能插入件由与所述目标材料流体相容的材料制成。

8.根据权利要求7所述的目标材料供应装置，其中所述功能插入件是限流器，所述限流器由钽；钨；钼；钽、钨或钼的合金；聚酰亚胺；或难熔金属制成。

9.根据权利要求7所述的目标材料供应装置，其中所述功能插入件由碳化硼或涂覆有疏锡材料的金属制成。

10.根据权利要求7所述的目标材料供应装置，其中所述目标材料流体是熔融锡。

11.根据权利要求6所述的目标材料供应装置，其中所述垫圈的所述内开口的所述直径至少与所述适配器的限定所述轴向流动路径的所述内开口一样大，并且足够小以轴向支撑在其中的所述功能插入件。

12.根据权利要求6所述的目标材料供应装置，其中所述功能插入件是限流器，并且其内开口的直径足够小以在施加的所述目标材料流体的流动压力超过阈值后允许目标材料流体的受限流动，小于所述轴向流动路径的直径，并且大于所述喷嘴供应装置的流动路径的最小直径。

13.根据权利要求6所述的目标材料供应装置，其中所述功能插入件是限流器，所述第一流体流动部件是适配器，并且所述第二流体流动部件是目标材料液体储存器，所述适配器被定位在所述目标材料液体储存器和所述喷嘴供应装置之间。