[发明专利]电子管、电子管模块和光学装置

权利要求书

1.一种电子管，其特征在于，包括：

真空容器，其具有透光性基板，构成真空空间；

光电面，其设置于所述透光性基板的作为所述真空空间侧的面的内表面，根据经由所述透光性基板入射的光而向所述真空空间中放出光电子；

电子检测部，其设置在所述真空容器内，检测源自所述光电子的电子；和

棱镜，其接合于所述透光性基板的与所述内表面相反的一侧的外表面，

所述棱镜具有：

底面，其接合于所述透光性基板的所述外表面；

光入射面，其具有供光入射的光入射部；和

光反射面，其通过使入射到所述光入射部并在所述光电面与所述真空空间的界面反射的光进一步反射，从而使该光再次入射到所述光电面，

所述光反射面具有向外侧凸出的曲面形状，

所述光入射部位于比沿着所述光反射面的假想的球面靠内侧的位置。

2.如权利要求1所述的电子管，其特征在于：

所述光电面沿着所述透光性基板的所述内表面形成为平板状。

3.如权利要求1或2所述的电子管，其特征在于：

所述光电面形成于所述透光性基板的所述内表面的一部分。

4.如权利要求1～3中任一项所述的电子管，其特征在于：

所述光入射部形成为平面状。

5.如权利要求1～3中任一项所述的电子管，其特征在于：

所述光入射部具有向外侧凸出的曲面形状。

6.如权利要求1～3中任一项所述的电子管，其特征在于：

所述光入射部具有向内侧凸出的曲面形状。

7.如权利要求1～6中任一项所述的电子管，其特征在于：

所述光入射部由所述光入射面的整体构成。

8.如权利要求1～6中任一项所述的电子管，其特征在于：

所述光入射部由在所述光入射面的一部分开口的凹部构成。

9.如权利要求1～8中任一项所述的电子管，其特征在于：

在所述光入射面的至少所述光入射部设置有防反射膜。

10.如权利要求1～9中任一项所述的电子管，其特征在于：

在所述光反射面设置有反射膜。

11.如权利要求1～10中任一项所述的电子管，其特征在于：

所述棱镜还具有一对侧面，该一对侧面设置在所述光入射面及所述光反射面与所述底面之间，从与所述底面相对的方向观察时，隔着所述光入射面及所述光反射面而彼此相对。

12.如权利要求1～11中任一项所述的电子管，其特征在于：

所述电子管还包括电子倍增部，所述电子倍增部设置在所述真空容器内，使所述光电子倍增。

13.如权利要求1～11中任一项所述的电子管，其特征在于：

所述电子检测部是使所述光电子倍增的半导体元件。

14.如权利要求1～13中任一项所述的电子管，其特征在于：

所述光反射面的所述曲面形状是由多个平面部近似地构成的曲面形状。

15.一种电子管模块，其特征在于，包括：

权利要求1～14中任一项所述的电子管；和

壳体，其收纳所述电子管，

所述壳体具有形成有开口的壁部，

所述电子管以从所述开口导入的光入射到所述光入射面的方式配置在所述壳体内。

16.如权利要求15所述的电子管模块，其特征在于：

所述光入射面形成为平面状，且以与所述壁部平行的方式配置。