[发明专利]电子管、电子管模块和光学装置

说明书

电子管包括：真空容器，其具有透光性基板；光电面，其设置于透光性基板的内表面；阳极，其设置于真空容器内；和棱镜。棱镜具有：底面，其与透光性基板的外表面接合；光入射面；和光反射面，其通过使经由棱镜和透光性基板入射到光电面并在光电面与真空空间的界面反射的光进一步反射，从而使该光再次入射到光电面。光反射面具有向外侧凸出的曲面形状。光入射面位于比沿着光反射面的假想的球面靠内侧的位置。

技术领域

本发明涉及电子管、电子管模块和光学装置。

背景技术

现有技术中，已知有检测从试样产生的荧光等微弱光的光电倍增管等电子管。电子管包括：具有透光性基板的真空容器；和设置于透光性基板的真空侧的内表面的光电面(photocathode)。非专利文献1公开了在上述透光性基板的外表面设置有半球面状的棱镜的结构。在该结构中，入射到棱镜的光入射面的光在光电面与真空空间的界面反射，之后在棱镜的与光入射面相反的一侧的光反射面进一步反射而返回到光电面。由此，实现了光电面的量子效率(QE：Quantum Efficiency)的提高。

现有技术文献

[非专利文献]

[非专利文献1]J.B.Oke and Rudolph E.Schild.A Practical MultipleReflection Technique for Improving the Quantum Efficiency of PhotomultiplierTubes.APPLIED OPTICS Vol.7.No.4 617-622(1968)

发明内容

发明要解决的课题

然而，在非专利文献1所公开的结构中，棱镜的光入射面沿着半球面，棱镜的光入射面与光电面的距离比较大。因此，有时无法使被检测光的光源充分接近光电面。例如，在棱镜为半球状的情况下，从棱镜的光入射面到光电面的距离变大。因此，在被检测光为发散光的情况下，设想被检测光(一次光)未完全进入光电面。另外，在棱镜为半球状的情况下，在光电面的中心(与棱镜形状对应的球的中心)以外的部位反射的光难以经由光反射面再次返回到光电面。因此，在被检测光为会聚光的情况下，从得到良好的量子效率的观点出发，优选使被检测光的焦点对准光电面，但由于无法使光源充分接近光电面，所以有时难以进行上述那样的焦点位置的调整。因此，在非专利文献1所公开的结构中，在提高光电面的量子效率的观点上存在改善的余地。

因此，本发明的目的在于提供一种能够有效地提高光电面的量子效率的电子管、电子管模块和光学装置。

用于解决课题的方法

本发明的一个方面的电子管包括：真空容器，其具有透光性基板，构成真空空间；光电面，其设置于透光性基板的真空空间侧的面即内表面，根据经由透光性基板入射的光而向真空空间中放出光电子；电子检测部，其设置在真空容器内，检测源自光电子的电子；和棱镜，其接合于透光性基板的与内表面相反的一侧的外表面，棱镜具有：底面，其接合于透光性基板的外表面；光入射面，其具有供光入射的光入射部；和光反射面，其通过使入射到光入射部并在光电面与真空空间的界面反射的光进一步反射，从而使该光再次入射到光电面，光反射面具有向外侧凸出的曲面形状，光入射部位于比沿着光反射面的假想的球面靠内侧的位置。