[发明专利]缺陷检查装置

权利要求书

1.一种缺陷检查装置，包括：

拍摄部，拍摄检查对象；

显示部，显示基于由所述拍摄部所拍摄的图像的图像；以及

控制部，受理对显示于所述显示部的图像上的规定的关注区域的标记的设定，

所述控制部构成为，基于由所述拍摄部所拍摄的图像来检查所述检查对象的缺陷，并且使所述标记的图像重叠于显示于所述显示部的检查结果图像的与所述规定的关注区域对应的位置。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，还包括：

激励部，对所述检查对象激励声波振动；

激光照明，对所述检查对象照射激光；以及

干涉部，使从经所述激励部激励的所述检查对象的互不相同的位置到来的激光的反射光产生干涉，

所述拍摄部构成为，拍摄经干涉的反射光，

所述控制部构成为，获取基于由所述拍摄部所拍摄的经干涉的反射光的、表示所述检查对象的振动状态的图像，并使所述标记的图像重叠于基于表示所述检查对象的振动状态的图像的、所述检查结果图像的与所述规定的关注区域对应的位置。

3.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其中

所述控制部构成为，使所述标记的图像重叠于使用基于由所述拍摄部所拍摄的图像的静态图像以及动态图像而获取的、所述检查结果图像的与所述规定的关注区域对应的位置。

4.根据权利要求3所述的缺陷检查装置，包括：

激励部，对所述检查对象激励声波振动；

激光照明，对所述检查对象照射激光；以及

干涉部，使从经所述激励部激励的所述检查对象的互不相同的位置到来的激光的反射光产生干涉，

所述拍摄部构成为，拍摄经干涉的反射光，

所述控制部构成为，基于由所述拍摄部所拍摄的经干涉的反射光，获取显示所述检查对象的光的明暗的所述静态图像、与表示所述检查对象的振动状态的所述动态图像，并且获取在所述静态图像重叠有从所述动态图像提取的振动的不连续部分的叠加图像作为所述检查结果图像，

所述控制部构成为，受理对显示于所述显示部的所述静态图像上的所述规定的关注区域的所述标记的设定，并且使所述标记的图像重叠于所述叠加图像的与所述规定的关注区域对应的位置。

5.根据权利要求3或4所述的缺陷检查装置，其中

所述控制部构成为，使所述标记的图像重叠于所述动态图像的与所述规定的关注区域对应的位置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的缺陷检查装置，还包括：

存储部，保存所设定的所述标记的数据，

所述控制部构成为，每当在互不相同的检查时，反复使用保存在所述存储部中的所述标记的数据。

7.根据权利要求6所述的缺陷检查装置，其中

所述控制部构成为，在各别地检查多个同一种类的所述检查对象的情况、以及在多次检查同一所述检查对象的情况的各情况下，在读取了在最初的检查中保存于所述存储部中的所述标记的数据的状态下进行此次的检查，并且使所读取的所述标记的图像重叠于此次的所述检查结果图像的与所述规定的关注区域对应的位置。

8.根据权利要求6或7所述的缺陷检查装置，其中

所述控制部构成为，与所述标记的数据另行地将重叠所述标记的图像之前的所述检查结果图像的数据、以及所述标记的图像被重叠于所述检查结果图像的数据的图像保存至所述存储部。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的缺陷检查装置，其中

所述控制部构成为，在所述检查结果图像上受理了所述标记的数据的修正的情况下，将所述标记的数据的修正反映至所设定的所述标记的数据。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的缺陷检查装置，其中

所述控制部构成为，基于由所述拍摄部所拍摄的图像中的各像素的亮度程度来检测所述缺陷。