[发明专利]缺陷检查装置

说明书

本发明的缺陷检查装置(100)包括：拍摄部(影像传感器(35))，拍摄检查对象(7)；以及显示部(6)，显示基于由拍摄部所拍摄的图像的图像。而且，缺陷检查装置(100)包括控制部(4)，所述控制部(4)受理对显示于显示部(6)的图像(静态图像(61))上的规定的关注区域(S)的标记(64)的设定。并且，控制部(4)构成为，基于由拍摄部所拍摄的图像来检查检查对象(7)的缺陷，并且使标记(64)的图像重叠于显示于显示部(6)的检查结果图像(叠加图像(65))的与规定的关注区域(S)对应的位置。

技术领域

本发明涉及一种缺陷检查装置，尤其涉及一种包括拍摄部的缺陷检查装置。

背景技术

以往，已知有包括拍摄部的缺陷检查装置。此种缺陷检查装置例如在日本专利特开2017-219318号公报已有公开。

所述日本专利特开2017-219318号公报中记载的缺陷检查装置包括：激励部，对被检查物体激励弹性波；照明部，对被检查物体表面的测定区域进行频闪照明；以及干涉仪，包含对被激励(振动)状态的被检查物体反射而彼此干涉的光进行检测的影像传感器。而且，缺陷检查装置所包括的控制部基于从影像传感器的各检测元件获得的检测信号来进行数据处理。通过对所述数据处理的结果获得的图像进行已知的图像处理，从而检测被检查物体表面的缺陷。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利特开2017-219318号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

此处，在所述日本专利特开2017-219318号公报所记载的以往的缺陷检查装置中，存在下述情况：被检查物体的并非缺陷的部分(例如阶差)以与缺陷相似的形状显示在数据处理的结果获得的图像上。此时，用户必须观察数据处理的结果获得的图像，根据所显示的图像与关注区域(例如容易产生缺陷的区域)的位置关系来判别所显示的图像是否为缺陷。例如，用户基于所显示的图像存在于关注区域内，将所述显示的图像判别为缺陷。此处，数据处理的结果获得的图像中的关注区域的位置必须由用户自身观察图像来读取，因此根据用户，所读取的关注区域的位置有时互不相同。此时，由用户判别(识别)为缺陷的图像将互不相同，因此根据用户，检查结果产生差异。因此，期望能够抑制根据用户而检查结果产生差异的缺陷检查装置。

本发明是为了解决如上所述的问题而完成，本发明的一个目的在于提供一种能够抑制根据用户而检查结果产生差异的缺陷检查装置。

[解决问题的技术手段]

为了达成所述目的，本发明的一方面的缺陷检查装置包括：拍摄部，拍摄检查对象；显示部，显示基于由拍摄部所拍摄的图像的图像；以及控制部，受理对显示于显示部的图像上的规定的关注区域的标记的设定，控制部构成为，基于由拍摄部所拍摄的图像来检查检查对象的缺陷，并且使标记的图像重叠于显示于显示部的检查结果图像的与规定的关注区域对应的位置。

[发明的效果]

所述一方面的缺陷检查装置中，如上所述，控制部构成为，受理对显示于显示部的图像上的规定的关注区域的标记的设定，并且使标记的图像重叠于显示于显示部的检查结果图像的与规定的关注区域对应的位置。由此，即便进行检查的用户不同，在检查结果图像中显示标记的位置仍相同。其结果，基于显示于检查结果图像上的标记的位置来进行缺陷的判别，由此，能够抑制根据用户而检查结果产生差异的情况。

附图说明

图1是表示基于第一实施方式的缺陷检查装置的结构的框图。

图2是用于说明基于第一实施方式的缺陷检查装置的缺陷的显示的图。

图3是用于说明基于第一实施方式的缺陷检查装置的控制部所进行的缺陷显示处理的流程图。