[发明专利]检查方法

权利要求书

1.一种检查方法，其是对具备层叠偏振膜和相位差膜而成的圆偏振板、以及层叠在所述圆偏振板的所述相位差膜侧且由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的剥离膜的膜状的被检查物有无缺陷进行判断的检查方法，其中，

将光源、透过规定的波长的光的带通滤光片、第一偏振部、以及使所述剥离膜侧朝向所述第一偏振部侧的所述被检查物在所述光源所发出的光的光路上依次排列、并且将与所述第一偏振部构成正交尼科耳状态的第二偏振部配置在被所述被检查物反射的所述光的光路上，

使所述光源的光向所述带通滤光片入射，

以使所述剥离膜所具有的相位差的影响变小的方式使所述光向所述被检查物的入射角发生变化，

从所述第二偏振部侧对被所述被检查物反射的所述光进行观察，从而判断所述圆偏振板有无缺陷。

2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，

在使用所述带通滤光片进行了检查后，使用最易透过波长与所述带通滤光片所最易透过的光的波长不同的光的带通滤光片进行检查。

3.根据权利要求1或2所述的检查方法，其中，

在进行所述检查前，

准备光源、以及两张结构与所述被检查物所具备的所述圆偏振板相同的圆偏振板的试验片，

将两张所述试验片以相位差膜侧相对置、且所述相位差膜的慢轴彼此所成的角度在从所述光源的光路方向进行观察的情况下为90°以外的角度的方式进行配置，

从所述试验片的偏振膜的任一侧以使所述光路通过所述试验片上的没有缺陷的区域的方式入射各种波长的光，并从其另一侧对偏振膜进行观察，求出透射光量为最小的波长，决定将比该波长大5nm～50nm的波长以及比该波长小5nm～50nm的波长中的至少一个波长采用为所述规定的波长。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查方法，其中，

所述第一偏振部以及所述第二偏振部均是圆偏振板。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查方法，其中，

所述第一偏振部以及所述第二偏振部由共同的一张圆偏振板构成。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的检查方法，其中，

所述第一偏振部以及所述第二偏振部均是直线偏振板。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的检查方法，其中，

所述相位差膜由聚合性液晶化合物的固化物构成。