[发明专利]工业用机器人的手和工业用机器人在审
申请号: | 202180067513.2 | 申请日: | 2021-09-15 |
公开(公告)号: | CN116250071A | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
发明(设计)人: | 改野重幸 | 申请(专利权)人: | 日本电产三协株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 贺财俊;臧建明 |
地址: | 日本长野县诹访郡下诹访町5*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工业 机器人 | ||
1.一种工业用机器人的手,其构成为能够更换第一装载部和第二装载部,所述第一装载部装载搬运对象物,且具有包括供该搬运对象物的端面抵接的抵接面的端面抵接部件,所述第二装载部装载搬运对象物,且具有抽吸并保持该搬运对象物的抽吸孔,其中,
所述工业用机器人的手具备支承部,所述支承部构成为能够支承所述第一装载部和所述第二装载部中的任意一方,
所述支承部具有:空气流路,所述空气流路在支承所述第二装载部的状态下与所述抽吸孔相连;
第一单元和第二单元中的仅一方,所述第一单元包括将容纳在所述工业用机器人中的空气配管的前端与所述空气流路连结的连结部件,所述第二单元在支承所述第一装载部的状态下能够按压装载在所述第一装载部上的搬运对象物的端面;以及
安装部,所述安装部用于安装所述第一单元和所述第二单元中的另一方。
2.根据权利要求1所述的工业用机器人的手,其中,
所述第二单元具有气缸,
构成为在所述第一单元的所述连结部件和所述气缸的进排气口上能够连接共用的所述空气配管。
3.根据权利要求1或2所述的工业用机器人的手,其中,
所述安装部用于安装所述第二单元。
4.一种工业用机器人,具备:
权利要求1~3中任一项所述的工业用机器人的手;
所述空气配管;
支承所述手的臂;以及
支承所述臂的臂支承部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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