[发明专利]用于固定基底以对基底进行表面处理的夹持装置

权利要求书

1.一种用于固定基底(20)以对基底(20)进行表面处理的夹持装置(10)，包括：

-夹持支架(11)，以及

-驱动单元(12)，

其中，从横截面看，所述夹持支架(11)包括第一臂(13)和第二臂(14)，

其中，所述第一臂(13)可相对于所述第二臂(14)移动至基底(20)的接收位置，且所述第一臂(13)和所述第二臂(14)之间保持接收距离，以及移动至基底(20)的固定位置，且所述第一臂(13)与所述第二臂(14)之间保持固定距离，

其中，所述固定距离小于所述接收距离，

其中，所述驱动单元(12)至少部分地被所述夹持支架(11)包围，以及其中，所述驱动单元(12)至少有一部分可相对于所述夹持支架(11)移动，以将所述第一臂(13)移动至所述接收位置或固定位置。

2.根据权利要求1所述的夹持装置(10)，其中所述驱动单元(12)包括驱动主轴(15)，其中，从横截面看，所述驱动主轴(15)至少有一部分包括凸轮(16)，其中所述驱动主轴(15)可相对于所述夹持支架(11)旋转，且其中所述凸轮(16)与所述夹持支架(11)配合，以在所述驱动主轴(15)旋转时将所述第一臂(13)移动至所述接收位置或固定位置。

3.根据前述权利要求所述的夹持装置(10)，其中所述驱动主轴(15)包括第二部分，从横截面看，所述第二部分包括第二凸轮(17)，其中所述第二凸轮(17)与所述夹持支架(11)配合，以在所述驱动主轴(15)旋转时将所述第二臂(14)移动至所述接收位置或固定位置。

4.根据权利要求2或3所述的夹持装置(10)，还包括传动单元，所述传动单元被配置为相对于所述夹持支架(11)旋转所述驱动主轴(15)。

5.根据权利要求1所述的夹持装置(10)，其中所述驱动单元(12)包括可充气主体，所述可充气主体相对于所述夹持支架(11)可充气，以将所述第一臂(13)移动至所述接收位置。

6.根据前述权利要求所述的夹持装置(10)，还包括泵单元，所述泵单元被配置为相对于所述夹持支架(11)对所述可充气主体进行充气。

7.根据前述权利要求任一项所述的夹持装置(10)，其中所述驱动单元(12)包括至少部分沿所述驱动单元(12)的纵轴(L)延伸的通道(18)和至少一个与所述通道(18)相连并指向所述夹持支架(11)以将液体或气体施加到所述基底(20)和/或所述夹持支架(11)的开口(19)。

8.一种用于固持基底(20)以对基底(20)进行表面处理的夹持模块(30)，包括：

-前述权利要求任一项所述的第一夹持装置(10)，

-第二夹持装置(31)，以及

-连接单元(32)，

其中所述连接单元(32)设置在所述第一夹持装置(10)和所述第二夹持装置(31)之间，以连接所述第一夹持装置(10)和所述第二夹持装置(31)，从而使得所述第一夹持装置(10)、所述连接单元(32)和所述第二夹持装置(31)一起至少部分地环绕所述基底(20)的三个侧边。

9.根据前述权利要求所述的夹持模块(30)，还包括定位单元，所述定位单元被配置为至少将所述第一夹持装置(10)相对于所述连接单元(32)旋转到所述基底(20)的装载位置。