[发明专利]固态成像装置

权利要求书

1.一种固态成像装置，包括多个像素，每个所述像素包括：

基板，具有用作光入射面的第一表面；

光电转换部，其位于所述基板内部；

遮光部，其设置在所述第一表面一侧，所述遮光部具有被构造为允许光入射至所述光电转换部的孔部；和

第一透镜，其由硅构成，所述第一透镜被设置在所述遮光部上并且将入射光朝着所述孔部会聚。

2.根据权利要求1所述的固态成像装置，

其中，所述第一透镜由非晶硅或多晶硅构成。

3.根据权利要求1所述的固态成像装置，

其中，所述孔部的至少一部分包含所述第一透镜的材料。

4.根据权利要求1所述的固态成像装置，

其中，所述孔部是光波导。

5.根据权利要求1所述的固态成像装置，

其中，在所述第一透镜的光入射侧的表面和与所述光入射侧相反的表面中的至少一者上设置有防反射膜。

6.根据权利要求1所述的固态成像装置，

其中，在所述基板的与所述第一表面相反的第二表面一侧设置有反射层，并且

其中，所述反射层由与包括在设置于所述第二表面一侧的配线层中的配线相同的材料、分别具有不同的折射率的层叠的多个膜和金属膜中的任一者形成。

7.根据权利要求1所述的固态成像装置，

其中，光衍射部设置在所述基板的所述第一表面和与所述第一表面相反的第二表面中的至少一者上，所述光衍射部在截面图中具有凹凸结构。

8.根据权利要求7所述的固态成像装置，

其中，所述凹凸结构由针对一个所述光电转换部设置在所述基板上的一个以上的四棱锥形成。

9.根据权利要求1所述的固态成像装置，

其中，所述基板的所述第一表面在对应于所述孔部的位置处具有包括绝缘材料或空气层的槽部。

10.根据权利要求9所述的固态成像装置，

其中，针对一个所述光电转换部设置有多个所述槽部。

11.根据权利要求1所述的固态成像装置，

其中，在所述基板内部的两个相邻的所述光电转换部之间设置有与所述基板接触的分离部，所述分离部具有包括绝缘膜或包括所述绝缘膜和空气层的沟槽结构。

12.根据权利要求11所述的固态成像装置，

其中，在所述分离部中，所述沟槽结构具有埋入其中的金属材料，并且所述绝缘膜设置在所述金属材料与所述基板之间。

13.根据权利要求12所述的固态成像装置，

其中，所述遮光部包括金属膜，并且

其中，所述分离部中包含的所述金属材料和所述遮光部中包括的所述金属膜彼此接触。

14.根据权利要求13所述的固态成像装置，

其中，所述分离部中包含的所述金属材料和所述遮光部中包括的所述金属膜的材料相同，并且所述分离部和所述遮光部一体形成。

15.根据权利要求1所述的固态成像装置，

其中，所述遮光部具有设置在所述第一透镜一侧的表面上的多个凸部或凹部。

16.根据权利要求15所述的固态成像装置，

其中，所述遮光部以凹凸形状大致平行地设置并且在它们之间夹设有绝缘膜，所述凹凸形状由所述基板的所述第一表面上的所述凸部或所述凹部形成。