[发明专利]一种高效的电子芯片用封装装置有效
申请号: | 202210004643.8 | 申请日: | 2022-01-06 |
公开(公告)号: | CN114156214B | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
发明(设计)人: | 郑振兴;梁鹏;郝刚;林智勇;陈智斌 | 申请(专利权)人: | 广东技术师范大学 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 510665 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 电子 芯片 封装 装置 | ||
1.一种高效的电子芯片用封装装置,其特征在于:包括底板(1)、封座单元(5)、热封单元(3)、上料单元(4)、真空阀(6)和输气管(7);
底板(1):上端左侧放置有封装座(2);
热封单元(3):包含热封箱(31)、下滑齿条(32)、下热块(33)、上滑齿条(34)、上热块(35)、加热棒(36)和短转柱(37),所述底板(1)的上端安装有热封箱(31),所述热封箱(31)的内部前端滑动连接有下滑齿条(32),所述下滑齿条(32)的下端连接下热块(33)的后端,所述上滑齿条(34)滑动连接在热封箱(31)的内部后端,所述上滑齿条(34)的上端通过孔连板连接上热块(35)的后端,所述上热块(35)的上端和下热块(33)的下端均安装有加热棒(36),所述短转柱(37)转动连接在热封箱(31)的内部;
上料单元(4):安装在底板(1)的上端中部,所述上料单元(4)包含导向方柱(41)、上料齿条(42)、导向滑杆(43)、上料板(44)和同步连条(45),所述底板(1)的上端安装有导向方柱(41),所述上料齿条(42)滑动连接在导向方柱(41)的后端,所述导向滑杆(43)滑动连接在底板(1)的中部后端,所述上料齿条(42)的下端连接在上料板(44)的中部,所述导向滑杆(43)的下端连接在上料板(44)的后端,所述上料齿条(42)和导向滑杆(43)的上端通过同步连条(45)连接;
所述上料单元(4)还包含上料电机(46),所述底板(1)的上端中部安装有上料电机(46),所述上料电机(46)的输出轴连接上料主齿轮,所述上料主齿轮与上料齿条(42)啮合连接;
所述封座单元(5)包含立板(51)、导向横杆(52)、滑动角板(53)、内管块(54)和吸料嘴(55),所述底板(1)的上端安装有立板(51),两个导向横杆(52)分别滑动连接在立板(51)上端的前后两侧,两个导向横杆(52)的右端分别连接滑动角板(53)的前后两端,两个导向横杆(52)的左端分别连接在内管块(54)右端的前后两侧,所述内管块(54)的左端安装有吸料嘴(55);
所述封座单元(5)还包含封座电机(56)和封座螺杆(57),所述底板(1)的上端右侧安装有封座电机(56),所述封座电机(56)的输出轴连接封座螺杆(57)的右端,所述封座螺杆(57)的左端转动连接在立板(51)的右端,所述滑动角板(53)的下端与封座螺杆(57)螺纹连接;
所述底板(1)的上端安装有真空阀(6),所述真空阀(6)的出气孔通过输气管(7)连接内管块(54)的进气孔。
2.根据权利要求1所述的一种高效的电子芯片用封装装置,其特征在于:所述热封单元(3)还包含热压主齿轮(38)和热压电机(39),所述短转柱(37)的中部安装有热压主齿轮(38),所述热压主齿轮(38)分别与下滑齿条(32)和上滑齿条(34)啮合连接,所述热压电机(39)安装在底板(1)的上端,所述热压电机(39)的输出轴连接短转柱(37)的右端。
3.根据权利要求1所述的一种高效的电子芯片用封装装置,其特征在于:还包括封座限位板(8),所述底板(1)的上端左侧安装有L型的封座限位板(8)。
4.根据权利要求1所述的一种高效的电子芯片用封装装置,其特征在于:还包括支撑方柱(9),所述底板(1)的下端四角均安装有支撑方柱(9)。
5.根据权利要求4所述的一种高效的电子芯片用封装装置,其特征在于:还包括升降螺杆(10)和贴地盘(11),四个支撑方柱(9)的下端均螺纹连接有升降螺杆(10),四个升降螺杆(10)的下端均安装有贴地盘(11)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造