[发明专利]微机电感测装置及其感测模块

权利要求书

1.一种微机电感测装置，包含：

基底；

加热器，设置于该基底上，且该加热器具有加热工作部分；以及

感测电极，具有感测工作部分，该加热器和该感测电极沿堆叠方向设置于不同层，且该感测电极与该加热器电性绝缘；

其中，在该堆叠方向的参考面上，该加热器的该加热工作部分的投影覆盖该感测电极的该感测工作部分的投影。

2.如权利要求1所述的微机电感测装置，其中该基底包含基板以及设置于该基板上的绝缘膜，该基板与该绝缘膜之间形成有绝热腔，且该加热器的该加热工作部分对应该绝热腔。

3.如权利要求1所述的微机电感测装置，其中该感测电极的该感测工作部分具有指叉结构。

4.如权利要求1所述的微机电感测装置，其中该加热器包含相连的该加热工作部分以及加热器连接臂，且该感测电极包含相连的该感测工作部分以及电极连接臂。

5.如权利要求4所述的微机电感测装置，其中在该参考面上，该加热器连接臂的投影覆盖该电极连接臂的投影。

6.如权利要求1所述的微机电感测装置，其中该加热器的该加热工作部分包含外框区域、衔接区域以及圆盘区域，该外框区域围绕该衔接区域和该圆盘区域，且该圆盘区域经由该衔接区域连接于该外框区域。

7.如权利要求1所述的微机电感测装置，其中该加热器的该加热工作部分包含弯折结构。

8.如权利要求7所述的微机电感测装置，其中该感测电极的该感测工作部分包含沿该弯折结构延伸且平行排列的一对工作电极。

9.如权利要求1所述的微机电感测装置，还包含电性绝缘层，介于该加热器与该感测电极之间。

10.如权利要求1所述的微机电感测装置，其中该加热工作部分的投影面积大于该感测工作部分的投影面积。

11.如权利要求1所述的微机电感测装置，其中该加热工作部分的最外缘与该感测工作部分的最外缘之间的间距为0.1至0.3微米(μm)。

12.一种用于侦测气体浓度的感测模块，包含：

加热器，具有加热工作部分；以及

感测电极，具有感测工作部分，该加热器和该感测电极沿堆叠方向设置于不同层，且该感测电极与该加热器电性绝缘；

其中，在该堆叠方向的参考面上，该加热器的该加热工作部分的投影覆盖该感测电极的该感测工作部分的投影。

13.如权利要求12所述的感测模块，其中该感测工作部分具有指叉结构。

14.如权利要求12所述的感测模块，其中该加热器包含相连的该加热工作部分以及加热器连接臂，且该感测电极包含相连的该感测工作部分以及电极连接臂。

15.如权利要求14所述的感测模块，其中在该参考面上，该加热器连接臂的投影覆盖该电极连接臂的投影。

16.如权利要求12所述的感测模块，其中该加热工作部分包含外框区域、衔接区域以及圆盘区域，该外框区域围绕该衔接区域和该圆盘区域，且该圆盘区域经由该衔接区域连接于该外框区域。

17.如权利要求12所述的感测模块，其中该加热工作部分包含弯折结构。

18.如权利要求17所述的感测模块，其中该感测工作部分包含沿该弯折结构延伸且平行排列的一对工作电极。

19.如权利要求12所述的感测模块，还包含电性绝缘层，介于该加热器与该感测电极之间。