[发明专利]微机电感测装置及其感测模块

说明书

本发明公开一种微机电感测装置及其感测模块，其中该微机电感测装置包含基底、加热器以及感测电极。加热器设置于基底上，且加热器具有加热工作部分。感测电极具有感测工作部分。加热器和感测电极沿堆叠方向设置于不同层，且感测电极与加热器电性绝缘。在堆叠方向的参考面上，加热器的加热工作部分的投影覆盖感测电极的感测工作部分的投影。

技术领域

本发明设计一种微机电感测装置以及感测模块。

背景技术

对公共安全与大众健康而言，高效检测工业有毒气体、可燃易爆气体、化学实验室的危险气体以及与疾病相关的有害气体等等显得十分重要。而研制出具有高敏感性、高选择性、快速回应速率、使用寿命长的气体感测装置也是业界一直研究的目标之一。

部分半导体材料和金属氧化物的优良气敏特性被发现并进一步被应用于制造微机电式气体感测装置。一般而言，半导体材料和金属氧化物必须在特定温度下才能有满足应用需求的气敏特性，因此这种气体感测装置往往都会加装加热元件，以便使气体感测装置能处于恰当的工作温度。

随着气体感测装置的小型化发展趋势，内部的感测电极通常采用指叉电极结构以求降低电阻。在现有的气体感测装置中，指叉电极结构形成于加热器上，但由于指叉电极结构的电路图案跨越加热器，导致制造过程中指叉电极结构有断线或蚀刻不完全的问题，最终造成气体感测装置灵敏度降低甚至成为不良品。另外，指叉电极结构跨越加热器的设计还存在指叉电极结构受热不均匀而有局部热应力堆积的问题，长期使用下指叉电极结构容易变形。

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供一种电极能被加热器均匀加热且制造良率高的微机电感测装置以及感测模块。

本发明一实施例所公开的微机电感测装置包含一基底、一加热器以及一感测电极。加热器设置于基底上，且加热器具有一加热工作部分。感测电极具有一感测工作部分。加热器和感测电极沿一堆叠方向设置于不同层，且感测电极与加热器电性绝缘。在堆叠方向的一参考面上，加热器的加热工作部分的投影覆盖感测电极的感测工作部分的投影。

本发明一实施例所公开的感测模块包含一加热器以及一感测电极。加热器具有一加热工作部分，且感测电极具有一感测工作部分。加热器和感测电极沿一堆叠方向设置于不同层，且感测电极与加热器电性绝缘。在堆叠方向的一参考面上，加热器的加热工作部分的投影覆盖感测电极的感测工作部分的投影。

根据本发明所公开的微机电感测装置及感测模块，加热工作部分和感测工作部分在参考面上的投影重叠，且加热工作部分的投影覆盖感测工作部分的投影，这样的结构设计有助于避免制造感测电极时发生高低落差现象，进而避免因高低落差现象产生的结构脆弱部分断线或蚀刻不完全，有助于提升制造良率。此外，这样的结构设计让感测工作部分的所有部分都能被加热器均匀加热，有助于避免因为局部热应力堆积导致感测电极变形的问题，进而增加微机电感测装置的使用寿命。

以上关于本发明内容的说明及以下实施方式的说明是用以示范与解释本发明的原理，并提供本发明的权利要求更进一步的解释。

附图说明

图1为本发明一实施例的微机电感测装置的立体示意图；

图2为图1的微机电感测装置的分解示意图；

图3为图1的微机电感测装置的剖切示意图；

图4为图1的微机电感测装置中感测模块的立体示意图；

图5为图4的感测模块的上视示意图；

图6为图5的感测模块与现有感测模块的示意图；

图7为本发明另一实施例的感测模块的立体示意图。

符号说明

1 微机电感测装置

10 基底