[发明专利]微机械振动系统

权利要求书

1.微机械振动系统(6a、6b、6c)、尤其是微镜组件(200)，所述微机械振动系统包括：

带有至少一个微镜(4)的微机械振动体(8)，和

具有线圈体(30a、30b、30c)和至少一个磁铁(50a、50b、50c)的电磁驱动单元，

其中，所述线圈体(30a、30b、30c)相对于所述微镜(4)基本上在侧面、尤其在沿所述微镜(4)的对称轴线(14)的方向的俯视图中在侧面延伸，

其中，所述至少一个磁铁(50a、50b、50c)在所述线圈体(30a、30b、30c)下方、尤其在沿所述微镜(4)的对称轴线(14)的方向的俯视图中在所述线圈体(30a、30b、30c)下方延伸。

2.根据权利要求1所述的微机械振动系统(6a、6b、6c)，其特征在于，所述线圈体(30a、30b、30c)相对于所述微镜(4)完全在侧面、尤其在沿所述微镜(4)的对称轴线(14)的方向的俯视图中完全在侧面延伸。

3.根据权利要求1或2所述的微机械振动系统(6a、6b、6c)，其特征在于，所述微机械振动系统(6a、6b、6c)附加地具有线圈支架(3)，所述线圈支架用于承载所述线圈体(30a、30b、30c)，其中，所述线圈支架(3)与所述微镜(4)在共同的第一主延伸平面(10a)中延伸。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的微机械振动系统(6a、6b、6c)，其特征在于，所述磁铁(50a、50b、50c)相对于所述线圈体(30a、30b、30c)这样布置：使得所述线圈体(30a、30b、30c)基本上布置在所述磁铁(50a、50b、50c)的磁场线的垂直于主场的散射场(55a)内。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械振动系统(6a、6b、6c)，其特征在于，所述微镜(4)构造为硅构件。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的微机械振动系统(6a、6b、6c)，其特征在于，所述电磁驱动单元具有至少两个磁铁(50a、50b、50c)，其中，所述两个磁铁(50a、50b、50c)彼此间隔开地布置，并且，在所述磁铁(50a、50b、50c)之间布置有至少一个第一磁通片(60a)和第二磁通片(60b)，所述第一磁通片和第二磁通片用于向所述线圈体(30a、30b、30c)的方向引导磁场线。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的微机械振动系统(6a、6b、6c)，其特征在于，所述电磁驱动单元的磁铁(50a、50b、50c)具有第一磁化方向(55c)和与所述第一磁化方向(55c)相反的第二磁化方向(55d)，其中，所述微机械振动系统(6a、6b、6c)附加地具有至少一个第三磁通片(60c)，所述第三磁通片用于向所述线圈体(30a、30b、30c)的方向引导磁场线。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的微机械振动系统(6a、6b、6c)，其特征在于，所述电磁驱动单元的磁铁(50a、50b、50c)具有主磁场，其中，所述主磁场的磁场线基本上平行于所述线圈体(30a、30b、30c)的第二主延伸平面(10b)地延伸，其中，所述微机械振动系统(6a、6b、6c)附加地具有至少一个第四磁通片(60d)和第五磁通片(60e)，所述第四磁通片和第五磁通片用于向所述线圈体(30a、30b、30c)的方向引导磁场线。

9.微投影设备(220)，具有根据权利要求1至8中任一项所述的微机械振动系统(6a、6b、6c)。